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郭颖

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 2篇电子束曝光机
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇数字信号
  • 2篇数字信号处理
  • 2篇图形发生器
  • 2篇曝光机
  • 1篇信号处理器
  • 1篇硬件
  • 1篇硬件设计
  • 1篇数字信号处理...
  • 1篇通用串行总线
  • 1篇主控
  • 1篇主控制器
  • 1篇总线
  • 1篇控制器
  • 1篇TMS320...
  • 1篇DSP
  • 1篇串行

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇郭颖
  • 1篇方光荣

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于TMS320C6713的电子束曝光机图形发生器的硬件设计
2005年
提出了一套功能较为完备的新型扫描电子束曝光机图形发生器的硬件设计方案。方案采用TMS320C6713 芯片作为核心单元,并由USB2.0 接口电路、存储器扩展电路、标记检测控制电路、曝光控制电路和束闸控制电路构成。方案具有数据处理能力强、速度快、接口方便等优势,克服了传统图形发生器单纯依靠软件完成、速度慢、精度低、工作不稳定的缺点。
郭颖方光荣
关键词：电子束曝光机图形发生器数字信号处理
基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究
电子束曝光机是目前微细加工领域极具前途的一种光刻手段,是纳米级图形加工的理想方式.图形发生器是电子束曝光机的关键部件,该论文针对现有的图形发生器存在的主要问题,借鉴了当今国内外电子束曝光机图形发生器的长处与不足,采用DS...
郭颖
关键词：电子束曝光机图形发生器数字信号处理器通用串行总线
文献传递
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