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方光荣

作品数：71 被引量：104H指数：6
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家科技支撑计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 41篇期刊文章
  • 15篇专利
  • 12篇会议论文
  • 3篇科技成果

领域

  • 33篇电子电信
  • 11篇自动化与计算...
  • 10篇电气工程
  • 5篇机械工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 24篇电子束曝光
  • 18篇图形发生器
  • 18篇曝光机
  • 14篇电子束曝光机
  • 12篇信号
  • 10篇电子束
  • 9篇信号处理
  • 9篇数字信号
  • 9篇数字信号处理
  • 7篇信号处理器
  • 7篇数字信号处理...
  • 6篇电源
  • 6篇接口
  • 5篇电机
  • 5篇电子束曝光系...
  • 5篇数模
  • 5篇数模转换
  • 5篇总线
  • 5篇离子束
  • 5篇模转换

机构

  • 71篇中国科学院
  • 8篇中国科学院研...
  • 8篇中国科学院大...
  • 2篇北京好风光储...
  • 1篇山东理工大学
  • 1篇国家纳米科学...

作者

  • 71篇方光荣
  • 18篇韩立
  • 16篇薛虹
  • 16篇刘俊标
  • 12篇顾文琪
  • 11篇殷伯华
  • 8篇姜楠
  • 7篇张今朝
  • 7篇靳鹏云
  • 7篇林云生
  • 5篇张鹏
  • 5篇初明璋
  • 4篇束娜
  • 4篇刘伟
  • 3篇孔祥东
  • 3篇左燕生
  • 3篇林滢
  • 3篇商涛
  • 3篇王春雷
  • 3篇郑利兵

传媒

  • 8篇微细加工技术
  • 6篇现代科学仪器
  • 5篇第十三届全国...
  • 4篇电工电能新技...
  • 4篇微计算机信息
  • 4篇第十二届全国...
  • 3篇压电与声光
  • 2篇微计算机应用
  • 2篇微特电机
  • 2篇电工技术学报
  • 2篇第十一届全国...
  • 1篇传感器世界
  • 1篇振动．测试与...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇工业控制计算...
  • 1篇电子技术（上...
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇电子显微学报
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇测控自动化

年份

  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 4篇2009
  • 5篇2008
  • 8篇2007
  • 5篇2006
  • 10篇2005
  • 7篇2004
  • 7篇2003
  • 1篇2002
  • 4篇2001
  • 2篇1997
  • 1篇1995
共 71 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于超级电容器储能的风力发电、光伏发电互补供电系统
一种基于超级电容器储能的风光互补供电系统，包括DC/DC降压变换器(20)、AC/DC变换器(30)、超级电容器组(40)、DC/AC逆变器(50)、DC/DC升降压变换器(60)、光伏阵列(70)、风力发电机(80)、...
陶涛方光荣刘俊标姜楠
文献传递
DY2001A型电子束曝光机软件系统设计被引量：4
2003年
DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的。从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控制及数据建立和管理。
张今朝方光荣
关键词：电子束曝光机数据转换软件系统
基于DSP的高速原子力显微镜系统被引量：7
2007年
传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进针/退针、扫描电压的产生、A/D采样、D/A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成;在分辨率为512×512时,可以获得行频55 Hz的扫描速度。实验表明,即便在这样高速扫描的情况下,该系统仍具有良好的成像性能。
李敏韩立林云生左燕生方光荣
关键词：AFMDSP
基于DSP新型图形发生器模数转换器的设计
2004年
介绍了一种电子束曝光机图形发生器模数转换器的设计方案,该设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心,根据电子束曝光机背散射信号的特点,设计了合理的前端放大器和驱动电路及基准源。这样,提供了与DSP的无缝接口并提高了转换速度。该模数转换器可用于电子束和离子束曝光机中的图形发生器采集标记数据和图像数据信息,同时也可用于原子力显微镜采集图像数据信息。
袁修鹏薛虹方光荣
关键词：模数转换器图形发生器仪表放大器
电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法
一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法，该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度...
孔祥东韩立薛虹初明璋李建国林云生方光荣
文献传递
图形发生器
一种图形发生器，用于电子束、离子束等带电粒子的曝光机，属于曝光机的图形发生器硬件。本实用新型提供一种运算速度快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机用的图形发生器，它以高速数字信号处理器为核心，通过通用串行总线接口和上位机...
方光荣张鹏薛虹商涛林滢
文献传递
一种新型图形发生器的硬件方案
本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器,使各种图形硬件化,提高了图形的运算和处理...
张鹏方光荣
关键词：电子束曝光系统图形发生器数字信号处理器硬件
文献传递
一种语音导盲装置
一种语音导盲装置，两个以上超声传感器[1]固定在使用者身体左右或上下方位，指向前方。此装置包括收发一体超声传感器[1]、预放大电路[2]、带通滤波电路[3]、变增益放大电路[4]、微控制处理器[5]、超声发射驱动电路[6...
郭少朋方光荣韩立
文献传递
惯性冲击电机驱动电源
一种适用于压电陶瓷的惯性冲击电机驱动电源，包括信号发生单元、直流电源单元以及高压放大单元。信号发生单元用于生成各种信号波形，以适应不同负载的需求。高压放大单元完成对前级产生的信号波形进行电压和电流的放大，以达到驱动惯性冲...
陶涛方光荣刘俊标姜楠
文献传递
电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统
电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统，包括CPLD逻辑电路模块(1)、X方向高速光电隔离模块(2)、Y方向高速光电隔离模块(3)、X方向16位高速高精度数模转换模块(4)、Y方向16位高速高精度数模转换模块(5)、...
方光荣殷伯华靳鹏云彭开武
文献传递
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