2024年8月24日
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谢德东
作品数:
3
被引量:9
H指数:2
供职机构:
华中科技大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
自动化与计算机技术
电子电信
矿业工程
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合作作者
陈学东
华中科技大学机械科学与工程学院...
姜伟
华中科技大学机械科学与工程学院...
张玲莉
天津城市建设学院
何学明
华中科技大学机械科学与工程学院...
梁承元
华中科技大学
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模态
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机构
3篇
华中科技大学
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天津城市建设...
作者
3篇
谢德东
2篇
陈学东
1篇
何学明
1篇
张玲莉
1篇
姜伟
1篇
梁承元
传媒
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中国煤炭
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武汉理工大学...
年份
1篇
2015
1篇
2008
1篇
2007
共
3
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精密气浮直线电机结构动力学建模与分析
被引量:5
2008年
高分辨率步进扫描投影光刻机中掩模台长行程直线电机采用气浮轴承支撑实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑精密气浮直线电机结构中气固耦合对直线电机运动精度可能产生的影响,用拉格朗日方法建立了精密直线电机12个自由度的动力学模型。仿真计算结果和模态试验结果的主要模态偏差均小于5%,且识别出该系统中气浮轴承在平衡位置附近的线性化刚度。仿真计算和模态试验相结合建立的高精密直线电机动力学模型是正确有效的。
陈学东
谢德东
何学明
姜伟
张玲莉
关键词:
精密直线电机
动力学模型
模态试验
光刻机结构动力学建模与仿真
在集成电路制造业中,光刻机是精度最高,技术难度最大的一种机电一体化设备。光刻机整机系统是由整机框架、主基板、硅片台、掩模台、物镜、照明系统、预对准系统等分系统通过气力、磁力及联结件耦合的典型复杂多体系统。光刻机零部件众多...
谢德东
关键词:
光刻机
仿真模型
虚拟样机
文献传递
超高端液压支架立柱强度性能有限元分析
被引量:2
2015年
为了准确和全面把握超高端液压支架的大缸径双伸缩型立柱的强度性能,在充分考虑了焊缝和导向环等关键细节组件受载特性的基础上,构建了立柱有限元模型。通过静态中心过载压缩性能及偏心加载性能的仿真分析,指出了立柱在活柱的结构连接部位易产生较大的接触应力,并且在中缸和活柱底端可能出现导向环、动密封与缸体脱离接触。
高有进
梁承元
谢德东
杨文明
陈学东
关键词:
液压支架
双伸缩立柱
有限元分析
应力
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