2025年1月24日
星期五
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程新红
作品数:
200
被引量:65
H指数:4
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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俞跃辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐大伟
中国科学院研究生院
郑理
中国科学院大学
王中健
中国科学院研究生院
夏超
中国科学院研究生院
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5篇
2006
4篇
2005
1篇
2004
共
200
条 记 录,以下是 1-10
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
一种具有缓冲层的SOI超结LDMOS器件
本发明公开了一种具有缓冲层的SOI超结LDMOS器件,该器件包括SOI衬底和位于所述SOI衬底之上的有源区;所述有源区包括:栅区、分别位于所述栅区两侧的源区和漏区、位于所述栅区之下的体区、位于所述体区与所述漏区之间的漂移...
程新红
何大伟
王中健
徐大伟
夏超
宋朝瑞
俞跃辉
文献传递
基于SOI材料的MOS电容器及其制作方法
本发明提供一种基于SOI材料的MOS电容器及其制作方法,该方法是提供一具有顶层、隐埋氧化层、衬底层的SOI基板,在该顶层上光刻出多个硅岛,在去除硅岛表面的光刻胶及自然氧化层后,在该顶层上生长高k栅介质层,刻蚀该高k栅介质...
程新红
徐大伟
王中健
夏超
曹铎
宋朝瑞
俞跃辉
HfC涂覆碳纳米管增强场发射性能研究
被引量:1
2006年
利用PECVD方法在硅衬底上生长碳纳米管薄膜,然后采用IBAD方法在薄膜上沉积5 nm的Hf,在高温下退火后在表面形成HfC。研究了经过HfC处理前后碳纳米管膜的场发射性能,结果表明经过HfC处理后碳纳米管膜的场发射性能得到明显改善,并对提高碳纳米管场发射性能的机理进行了探讨。此方法为提高碳纳米管场发射性能提供了一种新的思路。
蒋军
冯涛
张继华
戴丽娟
程新红
宋朝瑞
王曦
柳襄怀
邹世昌
关键词:
碳纳米管
场发射
碳化铪
一种基于图形化的SOI-ESD保护器件及其制作方法
本发明公开了一种基于图形化的SOIESD保护器件及其制作方法。该ESD器件结构包括:底层衬底;位于所述底层衬底上的绝缘埋层;位于所述绝缘埋层上的有源区;以及穿过所述绝缘埋层连接所述有源区与底层衬底的导通栓;其中,所述有源...
程新红
夏超
王中健
俞跃辉
何大伟
徐大伟
一种基于硅基GaN功率管的单片集成半桥电路及其制备方法
本发明涉及一种基于硅基GaN功率管的单片集成半桥电路及其制备方法,在硅基GaN功率器件制备完成后通过晶圆减薄、键合、凹槽刻蚀、介质隔离而得。本发明实现高低边硅基GaN功率器件的全介质隔离,彻底解决硅基GaN功率器件半桥电...
沈玲燕
程新红
郑理
俞跃辉
一种SJ-IGBT器件结构及其制作方法
本发明提供一种SJ-IGBT器件结构及其制作方法,包括以下步骤:提供一衬底;在该衬底上形成漂移区并在该漂移区预设源端和漏端;提供一设有若干第一窗口的第一掩膜版,所述第一窗口的宽度沿源端到漏端方向依次增大;自上述第一窗口向...
程新红
夏超
王中健
曹铎
郑理
贾婷婷
俞跃辉
文献传递
一种SOI电路中的ESD保护结构及制作方法
本发明公开了一种SOI电路中的ESD保护结构及其制作方法,该结构包括SOI衬底以及位于SOI衬底上的栅控二极管ESD保护器件,其中,所述栅控二极管ESD保护器件包括:正极、负极、沟道、栅介质层和栅极;所述正极和负极分别位...
黄晓橹
魏星
程新红
陈静
张苗
王曦
文献传递
一种宽输出范围的高能效双向DC/DC变换器
本发明涉及一种宽输出范围的高能效双向DC/DC变换器,包括依次连接的原边全桥电路、谐振电路、变压器和副边全桥电路,所述谐振电路包括第一谐振电感、第二谐振电感和谐振电容;所述第一谐振电感的一端与所述原边全桥电路的第一输出端...
程新红
周学通
一种MIS电容的制作方法
本发明提供一种MIS电容的制作方法,于SOI衬底中刻蚀出硅岛,采用HF去除硅岛表面的氧化层,可以有效地降低薄膜界面层厚度。利用等离子体原子层沉积方法,采用原位O<Sub>2</Sub>,NH<Sub>3</Sub>等离子...
程新红
曹铎
贾婷婷
王中健
徐大伟
夏超
宋朝瑞
俞跃辉
文献传递
介质钝化对GaN HEMT性能的影响
本文将生长在铜片上的石墨烯转移到AlGaN/GaN 异质结表面,氟化绝缘后,利用水基ALD石墨烯上生长high k 方法1,制备了以Al2O3 作为栅介质的氟化石墨烯绝缘栅介质高电子迁移率晶体管(FG-MIS HEMT)...
沈玲燕
程新红
王中健
张栋梁
郑理
曹铎
王谦
李静杰
俞跃辉
关键词:
ALGAN/GAN
石墨烯
钝化层
电流崩塌
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