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王帅鹏

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇生化传感器
  • 4篇微悬臂
  • 4篇感器
  • 4篇高灵敏
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇电阻式传感器
  • 2篇信号传输线
  • 2篇微柱
  • 2篇谐振
  • 2篇谐振式
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇干法刻蚀工艺
  • 1篇基片
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基片
  • 1篇附属结构

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇杨富华
  • 4篇杨晋玲
  • 4篇王晶晶
  • 4篇王帅鹏
  • 2篇朱银芳

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支...
杨晋玲王帅鹏王晶晶杨富华
基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出...
杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出...
杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支...
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