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朱银芳

作品数：32 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 29篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 7篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇电极
  • 5篇激光
  • 5篇高灵敏
  • 4篇原胚
  • 4篇圆片
  • 4篇圆片级
  • 4篇阵列
  • 4篇刻蚀
  • 4篇惠斯通电桥
  • 4篇激光器
  • 4篇封装
  • 4篇CMOS-M...
  • 3篇淀积
  • 3篇压阻
  • 3篇生化
  • 3篇谐振结构
  • 3篇谐振式传感器

机构

  • 32篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇北京信息科技...
  • 1篇中国航空工业...
  • 1篇中国空空导弹...

作者

  • 32篇朱银芳
  • 30篇杨晋玲
  • 26篇杨富华
  • 4篇张金英
  • 3篇唐龙娟
  • 3篇周威
  • 3篇周美强
  • 3篇王晶晶
  • 2篇吴根水
  • 2篇李艳
  • 2篇王帅鹏
  • 2篇赵松庆
  • 2篇陈海燕
  • 1篇毛旭
  • 1篇魏伟伟
  • 1篇郭阳宽
  • 1篇张逢新
  • 1篇廖驹

传媒

  • 1篇电子世界
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2021
  • 7篇2020
  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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基于光压效应的红外光子探测方法
本发明公开了一种基于光压效应的红外光子探测方法，包括：驱动电路向作为感应元件的谐振结构提供驱动信号，该谐振结构在该驱动信号作用下起振；红外光源输出的红外辐射光经调制电路进行功率调制后，照射到谐振结构上产生光压效应，使谐振...
张逢新杨晋玲朱银芳
文献传递
一种低动态电阻的静电式MEMS谐振器及其阵列
本公开提供了一种低动态电阻的静电式MEMS谐振器，包括：第一谐振单元，其为环形结构；第一支撑单元，其一端与第一谐振单元连接，另一端与第一基座连接；其中，第一支撑单元的长度等于该静电式MEMS谐振器谐振波长的四分之一；对电...
杨晋玲刘文立逯玉洁赵俊元朱银芳杨富华
激光器阵列驱动装置及其封装方法
本发明公开了一种激光器阵列驱动装置及其封装方法，该装置包括：承载基板，表面有焊盘；激光器阵列芯片，包括n×n个相同或不同的激光器器件，其中n≥1；导热膜，设置于激光器阵列芯片与承载基板之间；激光器驱动模块，与激光器阵列芯...
王栎皓朱银芳付登源杨晋玲赵松庆吴根水陈海燕
文献传递
镀膜探针的圆片级制备方法及镀膜探针
本公开提供了一种镀膜探针的圆片级制备方法及镀膜探针，制备方法包括：在圆片级的衬底上形成针尖图形掩膜和补偿结构图形掩膜；形成针尖原胚结构和补偿结构；锐化针尖；背面各向异性深刻蚀体硅层；正面刻蚀埋氧层的裸露区域及体硅层；去除...
杨晋玲刘美杰朱银芳杨富华
基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法
本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出...
杨晋玲王帅鹏王晶晶朱银芳杨富华
文献传递
长波长垂直腔面发射激光器研究
2021年
近年来,垂直腔面发射激光器(VCSEL)由于其较低的阈值电流和垂直衬底表面出光的特性受到研究人员的广泛关注。长波长VCSEL在光通信和光互联领域具有巨大的潜在研究意义,本文从应用、发展现状、存在的技术问题、解决方法等方面采用有限元仿真对长波长VCSEL进行了分析,并进行了展望。
付登源王栎皓赵俊元赵松庆吴根水陈海燕朱银芳杨晋玲
关键词：垂直腔面发射激光器阈值电流VCSEL光互联长波长有限元仿真
用于谐振式微纳生化器件的集成系统
一种用于谐振式微纳生化器件的集成系统，包括：一固定支架；一底板，其制作在固定支架的上面的中间；一盖片，其中间的一侧开有凹槽，便于固定压制微纳生化器件，该盖片位于底板的一侧；一顶板，其制作在盖片的上面；该盖片和顶板的上面开...
杨晋玲王栎皓廖驹张金英朱银芳杨富华
文献传递
谐振式MEMS生物传感器系统检测电路设计被引量：1
2020年
文中提出了一种基于MEMS悬臂梁的生物检测系统。针对多通道MEMS悬臂梁阵列传感芯片响应迅速、灵敏度高、输出信号微弱等特点,设计了基于两级放大电路、锁相环及等精度计数的低噪声、高稳定性的信号处理与频率检测电路;构建了基于蠕动泵、气泵与MCU控制电路的微流体驱动控制系统,该系统具有体积小、精度高、功耗低等特点。测试结果表明,该生物检测系统对生物样品检测具有良好的准确性和重复性,开环测试误差小于±0.3 Hz,闭环误差小于±0.002 Hz,微流体控制精度最小可达0.247μL。
金庚王栎皓朱银芳刘晓晨赵俊元郭阳宽郭阳宽
关键词：生物传感器
集成CMOS-MEMS的高灵敏谐振式传感器
本公开提供了一种集成CMOS‑MEMS的高灵敏谐振式传感器，包括：微流道谐振腔、MEMS悬臂梁结构、惠斯通电桥检测电路、CMOS信号处理电路；谐振式传感器集成了MEMS悬臂梁结构和CMOS信号处理电路，惠斯通电桥检测电路...
王栎皓朱银芳赵俊元杨晋玲杨富华
文献传递
微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各...
杨晋玲周威周美强朱银芳杨富华
文献传递
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