沈沪江
- 作品数：10 被引量：34H指数：4
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市青年科技启明星计划“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：理学核科学技术电子电信化学工程更多>>
- 金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料的介电特性和热学性能研究被引量：12
- 2004年
- 研究了金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料作为超高速、大功率集成电路封装基板材料的可行性。采用电容法测量了复合材料的介电性质,结果表明在氧化铝上沉积金刚石膜,能有效降低基片材料的介电系数。碳离子预注入处理使介电损耗降低(从5×10-3降低到2×10-3),且频率稳定性更好。金刚石膜的沉积可明显提高基片的热导率,随着薄膜厚度的增加,复合材料的热导率单调递增。当薄膜厚度超过100μm时复合材料的介电系数下降到6.5、热导率上升至3.98W/cm·K,热导率接近氧化铝的20倍。
- 王林军方志军张明龙沈沪江夏义本
- 关键词：金刚石膜氧化铝陶瓷集成电路封装基板
- 金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究被引量：10
- 2004年
- 采用红外椭圆偏振光谱对微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD)和热丝化学气相沉积法 (HFCVD)制备的金刚石薄膜在红外波长范围 (2 5— 1 2 5 μm )的光学参数进行了测量 .建立了不同的光学模型 ,且在模型中采用Bruggeman有效介质近似方法综合考虑了薄膜表面和界面的椭偏效应 .结果表明 ,MPCVD金刚石膜的椭偏数据在模型引入了厚度为 77 5nm的硅表面氧化层、HFCVD金刚石膜引入 879nm粗糙层之后能得到很好的拟合 .最后对两种模型下金刚石薄膜的折射率和消光系数进行了计算 。
- 沈沪江王林军方志军张明龙杨莹汪琳夏义本
- 关键词：金刚石薄膜光学参数
- 基于(100)定向金刚石薄膜的辐射探测器研究被引量：4
- 2009年
- 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备了100μm米厚高质量(100)定向金刚石薄膜.利用(100)定向金刚石薄膜成功制备了α粒子探测器,-100V偏压下电荷平均收集效率为37.7%,最大的电荷收集效率达到60%以上.在此基础上,通过在α粒子探测器条状电极面蒸镀一层合适厚度的硼(10B)膜转化层,成功研制了金刚石中子探测器.镀硼之后探测器对中子有明显的响应,在1V/μm电场下,对252Cf中子的能量分辨率达到9.3%,探测效率达到1.67%.同时还研究了电场强度和硼(10B)层厚度对器件探测效率的影响规律.在厚度<1.5μm时,随着厚度的增加,探测效率上升,当厚度>1.5μm时,探测效率下降.
- 沈沪江王林军黄健徐闰史伟民夏义本
- 关键词：金刚石薄膜辐射探测器光电性能
- 纳米金刚石及其辐射探测器的制备和性能研究
- 沈沪江
- 关键词：纳米金刚石薄膜辐射探测器
- 金刚石薄膜在粒子探测器中的应用被引量：7
- 2003年
- 本文分析了金刚石薄膜作为粒子探测器的优势和劣势,介绍了金刚石薄膜粒子探测器的机理和电极结构、“探测器级”金刚石薄膜的主要制备方法和金刚石薄膜粒子探测器的发展水平。同时报道了我们制备的金刚石薄膜探测器在X射线和α粒子辐照下的响应测试结果,并分析了实现高性能探测器的障碍。
- 沈沪江王林军夏义本张明龙
- 关键词：金刚石薄膜粒子探测器半导体探测器
- 纳米金刚石薄膜及其辐射探测器的制备和性能研究
- 金刚石薄膜以其优异的电、光、热和机械性能及高的抗辐照能力和物理化学稳定性等在微电子和光学领域得到了极大重视。纳米金刚石以其更光滑的表面、更低的摩擦系数和更优异的场发射性能,已成为金刚石薄膜研究领域的新热点。本文研究了纳米...
- 沈沪江
- 关键词：纳米金刚石薄膜辐射探测器强磁场
- 文献传递
- 一种微条粒子探测器及其制备方法
- 本发明涉及一种以硅片上定向生长[100]晶面金刚石薄膜为基体材料制成的微条粒子探测器及其制备方法。本发明的微条粒子探测器，包括衬底及其表面涂层以及顶电极和背电极，衬底采用[100]硅片；在该衬底的上表面是[100]定向的...
- 王林军夏义本沈沪江张明龙
- 文献传递
- 金刚石膜微条粒子探测器的研制
- 夏义本王林军沈沪江张明龙方志军马哲国王志明
- 该项目提出采用[100]定向金刚石薄膜作为探测器材料。提出了实现探测器级金刚石薄膜的最佳制备工艺条件。测试并研究了单元探测器在X射线和241Am α粒子（5.5MeV）辐照下的响应特性，结果表明响应速度快，上升响应时间为...
- 关键词：
- 关键词：金刚石膜粒子探测器
- 金刚石薄膜粒子探测器的研究
- 金刚石的诸多优异性质使其成为一种能有效工作于高温下的、能高速响应、抗辐照能力强的宽禁带半导体探测器材料,可替代硅应用于极端环境.金刚石薄膜探测器在高能粒子物理、医学、核技术、航天科技、军事和地震预报等多个领域,具有广阔的...
- 沈沪江
- 关键词：金刚石薄膜粒子探测器化学气相沉积
- 文献传递
- 一种微条粒子探测器及其制备方法
- 本发明涉及一种微条粒子探测器及其制备方法。本发明的微条粒子探测器，包括衬底及其表面涂层以及顶电极和背电极，衬底采用[100]硅片；在该衬底的上表面是[100]定向的金刚石薄膜涂层；在金刚石薄膜涂层的表面是顶电极，顶电极由...
- 王林军夏义本沈沪江张明龙
- 文献传递
