张明龙 作品数:36 被引量:83 H指数:6 供职机构: 上海大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 “上海-应用材料研究与发展”基金 上海市青年科技启明星计划 更多>> 相关领域: 电子电信 核科学技术 理学 一般工业技术 更多>>
一种微条粒子探测器及其制备方法 本发明涉及一种以硅片上定向生长[100]晶面金刚石薄膜为基体材料制成的微条粒子探测器及其制备方法。本发明的微条粒子探测器,包括衬底及其表面涂层以及顶电极和背电极,衬底采用[100]硅片;在该衬底的上表面是[100]定向的... 王林军 夏义本 沈沪江 张明龙文献传递 CVD金刚石紫外探测器 被引量:1 2004年 CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾. 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本关键词:紫外探测器 金刚石膜 金刚石膜微条粒子探测器的研制 夏义本 王林军 沈沪江 张明龙 方志军 马哲国 王志明 该项目提出采用[100]定向金刚石薄膜作为探测器材料。提出了实现探测器级金刚石薄膜的最佳制备工艺条件。测试并研究了单元探测器在X射线和241Am α粒子(5.5MeV)辐照下的响应特性,结果表明响应速度快,上升响应时间为...关键词:关键词:金刚石膜 粒子探测器 CVD金刚石核探测材料与器件 被引量:4 2005年 金刚石膜因其优异的电学、光学等性能已成为优越的辐射探测器材料,但探测器性能强烈地依赖于薄膜质量。本工作利用热丝化学气相沉积(HFCVD)法获得了(100)取向不同质量的金刚石薄膜,并制备了CVD金刚石辐射探测器。应用5.9keV55FeX射线测试了探测器的光电流响应和脉冲高度分布。50kV/cm外电场作用下晶粒为10μm的CVD金刚石探测器的暗电流和光电流分别为16.3和16.8nA。光电流随辐照时间延长而增大,尔后趋于稳定。脉冲高度峰与噪声明显分离。探测器具有较高的计数效率和信噪比。 夏义本 王林军 张明龙 苏青峰关键词:CVD金刚石 辐射探测器 光电流 CVD金刚石膜的光电性能及其在辐射探测器中的应用研究 CVD金刚石膜具有优异的电、光、热、机械及抗辐照性能,已成为苛刻环境下工作的辐射探测器首选材料。探测器级CVD金刚石膜的制备和探测器的研制已经成为国际前沿课题。另外,CVD金刚石膜在气体探测器中作为微条气体室(MSGC)... 张明龙关键词:CVD 金刚石膜 光电性能 一种微条气体室探测器基板的制造方法 本发明涉及一种微条气体室探测器基板的制造方法,它是采用热丝化学气相沉积法由硅基片上沉积CVD金刚石膜而制成。先对n型(100)单晶硅基片预处理,然后放入热丝化学气相沉积装置的真空反应室中充入反应气体乙醇和氢气,经氢等离子... 王林军 夏义本 张明龙 汪琳 杨莹文献传递 气体电子倍增器的研制及性能测试 被引量:1 2005年 气体电子倍增器(GEM)以其独特的性能在辐射探测器领域得到了广泛的应用,对50μm厚聚酰亚胺(kapton)薄膜利用真空热蒸发和激光掩膜打孔法制作GEM膜,孔径100μm,孔距223μm,并封装流气式探测器,有效探测面积3mm×3mm。5.9keV55F e X射线测量了GEM在不同高压和混合气体比例时的脉冲幅度分布情况。讨论了高压和气体比例对探测器计数率和能量分辨率的影响。结果表明GEM具有较高的信噪比,能量分辨率可达18.2%。 张明龙 夏义本 王林军 顾蓓蓓 汪琳 杨莹关键词:辐射探测器 聚酰亚胺薄膜 X射线 CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究 2005年 提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(ρ~1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm阴极100μm,间距200μm。室温下,充以1.01×10-5PaAr+CH4混合气体时,采用5.9keV55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率。在Ar+10%CH4混合气体、-1100V漂移电压和-650V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%。 张明龙 夏义本 王林军 顾蓓蓓 杨莹 汪琳关键词:气体探测器 CVD金刚石膜 X射线 Al_2O_3陶瓷上金刚石膜生长工艺优化及α粒子响应 被引量:3 2005年 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在氧化铝陶瓷衬底上沉积金刚石膜,并制作梳状电极的α粒子探测器.通过优化薄膜生长条件,发现酒精浓度为0.8%、沉积温度为850℃时,金刚石薄膜的介电常数最接近单晶金刚石膜,X射线衍射、喇曼光谱及扫描电子显微镜测试表明金刚石膜的质量较好.探测器的I V测试结果表明暗电流在10-8~10-7A之间,α粒子(241Am5.5MeV)辐照下电流为10-5~10-4A. 楼燕燕 王林军 张明龙 顾蓓蓓 苏青峰 夏义本关键词:粒子探测器 金刚石 介电系数 氧化铝 金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料的介电特性和热学性能研究 被引量:12 2004年 研究了金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料作为超高速、大功率集成电路封装基板材料的可行性。采用电容法测量了复合材料的介电性质,结果表明在氧化铝上沉积金刚石膜,能有效降低基片材料的介电系数。碳离子预注入处理使介电损耗降低(从5×10-3降低到2×10-3),且频率稳定性更好。金刚石膜的沉积可明显提高基片的热导率,随着薄膜厚度的增加,复合材料的热导率单调递增。当薄膜厚度超过100μm时复合材料的介电系数下降到6.5、热导率上升至3.98W/cm·K,热导率接近氧化铝的20倍。 王林军 方志军 张明龙 沈沪江 夏义本关键词:金刚石膜 氧化铝陶瓷 集成电路 封装基板