刘耀波
- 作品数：14 被引量：25H指数：5
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 基于微扫描镜的激光投影(英文)被引量：7
- 2011年
- 利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的光学扫描角度达±12°.由于每个镜子都沿各自轴以简谐规律扭转,扫描所得投影为李萨如图形.通过分析图形的形成原理并用Matlab仿真,选出了适用用于任意图案显示的扫描镜谐振频率组合(X轴2 400Hz,Y轴2 425Hz).该组合可以形成194×192个像素点,刷新频率为25Hz.在此基础上提出了一种通过调制激光开关来进行投影显示的方法.
- 李昭苑伟政吴蒙燕斌乔大勇刘耀波
- 关键词：激光投影
- 基于利萨如图扫描方式的投影显示方法
- 本发明公开了一种基于利萨如图扫描方式的投影显示方法，属于投影显示领域。该方法首先计算利萨如图形的时间矩阵T<Sub>M×N</Sub>，根据待显示图像查的图像点阵和在显示位置得到网格平面点阵B<Sub>M×N</Sub>...
- 乔大勇夏长锋刘耀波李昭梁小伟
- 文献传递
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 一种新型静电驱动二维微型扫描镜的设计及模态被引量：7
- 2013年
- 设计并加工制作了一种基于绝缘体上硅(SOI)制备工艺的新型静电驱动二维微型扫描镜,并对其工作原理进行了分析。为了有效预测该微型扫描镜的谐振频率及相应的振态,采用有限元分析软件ANSYS对其进行建模和前五阶模态的仿真,并从理论上分析了前两阶扭转模态谐振频率的计算方法。使用激光多普勒测振仪对该扫描镜的谐振频率进行了测量。测量结果表明,二维微型扫描镜前两阶扭转模态的谐振频率分别为402 Hz和1218Hz。该测量结果与软件仿真结果基本吻合,少许差异是由于在仿真模态时未考虑梳齿结构、空气阻尼及环境温度等因素造成的。本研究对设计出结构更简单的静电驱动微型扫描镜有重要的参考价值。
- 刘耀波苑伟政乔大勇杨璇梁晓伟练彬
- 关键词：光学器件绝缘体上硅谐振频率
- 一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究被引量：7
- 2012年
- 在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频率,并利用ANSYS有限元软件进行仿真;设计并搭建了一个简单易操作的光学测试系统,对研制出的MEMS扫描镜(7.1mm×5.2mm)进行扫描角度测试。利用该器件参数激励的迟滞频率特性,对其谐振频率进行实际测量。同时,为验证其所测谐振频率的准确性,利用激光多普勒测振(LDV)系统对其进行测试。在工作电压10V,方形和圆形扫描镜的驱动频率分别为556Hz和596Hz时,机械扫描角度分别可达到约6°和5°,谐振频率分别约为300Hz和277Hz。并分析误差产生的原因及其结果。
- 燕斌苑伟政乔大勇刘耀波吴蒙李昭
- 关键词：光学器件微光学器件扫描镜绝缘体上硅谐振频率
- 基于利萨如图扫描方式的投影显示方法
- 本发明公开了一种基于利萨如图扫描方式的投影显示方法，属于投影显示领域。该方法首先计算利萨如图形的时间矩阵T<Sub>M×N</Sub>，根据待显示图像查的图像点阵和在显示位置得到网格平面点阵B<Sub>M×N</Sub>...
- 乔大勇夏长锋刘耀波李昭梁小伟
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 文献传递
- MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计
- 2011年
- 本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究。首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究。其次,研究了MEMS扫描镜的频率、幅值测量方法,根据其测量原理制定了系统测量方案,并对系统的硬件电路及软件程序进行了设计。最后,为验证测量系统的精度及其可靠性,采用激光多普勒(LDV)及激光三角法分别对MEMS扫描镜的幅值、频率进行对比测试。实验结果表明:该测量系统与两种测试方法的测量结果基本一致,基本满足MEMS扫描镜的机电特性测量稳定可靠、精度高、实时性强等要求。本文的研究,对MEMS扫描镜的闭环控制驱动及在微型光谱仪中的应用具有很大的参考价值。
- 刘耀波苑伟政乔大勇燕斌
- 关键词：扫描镜机电特性测量系统
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 文献传递
