梁晓伟
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一种新型静电驱动二维微型扫描镜的设计及模态被引量：7
- 2013年
- 设计并加工制作了一种基于绝缘体上硅(SOI)制备工艺的新型静电驱动二维微型扫描镜,并对其工作原理进行了分析。为了有效预测该微型扫描镜的谐振频率及相应的振态,采用有限元分析软件ANSYS对其进行建模和前五阶模态的仿真,并从理论上分析了前两阶扭转模态谐振频率的计算方法。使用激光多普勒测振仪对该扫描镜的谐振频率进行了测量。测量结果表明,二维微型扫描镜前两阶扭转模态的谐振频率分别为402 Hz和1218Hz。该测量结果与软件仿真结果基本吻合,少许差异是由于在仿真模态时未考虑梳齿结构、空气阻尼及环境温度等因素造成的。本研究对设计出结构更简单的静电驱动微型扫描镜有重要的参考价值。
- 刘耀波苑伟政乔大勇杨璇梁晓伟练彬
- 关键词：光学器件绝缘体上硅谐振频率
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 文献传递
- 基于李萨如扫描的微型激光投影显示技术被引量：6
- 2014年
- 结合李萨如图像扫描和微机电系统(MEMS)二维谐振式扫描镜,提出一种新颖的投影显示方法。相比于传统的投影显示技术,该技术具有控制简单、能耗低、体积小及重量轻等优点。首先阐述了该投影显示技术中像素的定义与划分,然后从理论上分析了刷新率、分辨率和谐振频率之间的关系,以及选择谐振频率的约束条件,最后通过Matlab软件进行仿真验证,并使用研制出的扫描镜样件搭建了投影显示样机,成功投影出分辨率为260×180的图像,从而验证谐振频率选择约束的有效性以及该投影显示方法的可行性,为实际工程应用奠定基础。
- 李晓莹梁晓伟乔大勇刘耀波潘春辉练彬
- 关键词：成像系统微机电系统刷新率谐振频率
