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刘昊

作品数：44 被引量：17H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家社会科学基金教育部人文社会科学研究基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文学电子电信建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 35篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 3篇学位论文

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇文学
  • 2篇电子电信
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇建筑科学
  • 1篇医药卫生
  • 1篇艺术
  • 1篇理学

主题

  • 15篇光刻
  • 15篇光刻机
  • 10篇六自由度
  • 9篇干涉仪
  • 8篇激光干涉
  • 8篇激光干涉仪
  • 8篇光干涉仪
  • 6篇电机
  • 6篇掩膜
  • 6篇套刻
  • 6篇套刻精度
  • 5篇激光
  • 5篇测量系统
  • 4篇莎士比亚
  • 4篇数据结构
  • 4篇浸液
  • 4篇共面
  • 4篇防撞
  • 4篇防撞结构
  • 4篇感器

机构

  • 44篇清华大学
  • 1篇复旦大学

作者

  • 44篇刘昊
  • 23篇刘召
  • 23篇朱煜
  • 23篇胡金春
  • 23篇尹文生
  • 23篇张鸣
  • 23篇徐登峰
  • 23篇杨开明
  • 19篇穆海华
  • 17篇成荣
  • 14篇田丽
  • 9篇叶伟楠
  • 9篇张利
  • 9篇张金
  • 5篇胡楚雄
  • 4篇李俊华
  • 4篇陆游游
  • 4篇舒继武
  • 3篇宋玉晶
  • 3篇王婧

传媒

  • 2篇中国莎士比亚...
  • 1篇孔子研究
  • 1篇外国文学研究
  • 1篇戏剧艺术
  • 1篇四川戏剧

年份

  • 4篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2020
  • 3篇2019
  • 2篇2018
  • 8篇2015
  • 3篇2014
  • 11篇2013
  • 5篇2012
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2004
共 44 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩膜台系统，粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间，实现粗动台的六自由度运动；该掩膜台系统还含有PSD传感器测量系统...
朱煜张鸣刘召杨开明徐登峰成荣刘昊张利田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
高并发索引B+链表数据结构的设计与实现方法
本发明公开了一种高并发索引B+链表数据结构的设计与实现方法，该方法包括：同时使用基于数组的和基于元素得到数据结构；对于数据结构的非叶子节点，采用预设的B+树数据结构，置放于DRAM中，使位于DRAM上的非叶子节点保证访问...
舒继武陆游游胡庆达刘昊
文献传递
一种带有浸液回收装置的光刻机硅片台双台交换系统
一种带有浸液回收装置的光刻机双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸...
张鸣朱煜成荣徐登峰刘召王婧田丽杨开明胡金春尹文生穆海华刘昊胡楚雄
文献传递
堆石混凝土综合性能试验与温度应力研究
堆石混凝土是一种新型的大体积混凝土施工技术,它是将大粒径的块石(最大粒径可以达到1m以上)直接入仓,然后将流动性好的专用自密实混凝土填充堆石间的空隙,形成完整、密实、具有足够强度和耐久性能的堆石混凝土。随着堆石混凝土技术...
刘昊
关键词：堆石混凝土热学性能抗渗性能干缩变形温度应力仿真
文献传递
催化剂及其制备方法和用途
本发明涉及一种催化剂及其制备方法和用途。所述催化剂由CeO<Sub>2</Sub>纳米晶堆积而成，其中，所述CeO<Sub>2</Sub>纳米晶的晶格中掺杂有过渡金属，并且，所述催化剂具有由CeO<Sub>2</Sub>...
司文哲苏子昂陈德莉刘昊李俊华
一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置
一种利用激光干涉仪测量硅片台多自由度位移的装置，该测量装置包括：激光器、平面镜干涉仪、接收器、读数单元、偏振装置、平面反射镜以及安装于硅片台上的反射透射棱镜，反射透射棱镜具有偏振镜面和反射镜面。平面镜干涉仪沿水平方向至少...
张鸣朱煜王磊杰刘昊刘召杨开明徐登峰胡金春尹文生
文献传递
一种六自由度磁悬浮工件台
一种六自由度磁悬浮工件台，该装置包括底座、一个旋转驱动装置、一个平面运动装置、角度测量装置和位移测量装置。其中位移测量装置包括四个直线电机、四个PSD组件。在旋转驱动装置作用下，和旋转驱动装置环形永磁阵列动子由轴连接的平...
朱煜张鸣宋玉晶成荣刘昊刘召杨开明胡金春徐登峰尹文生穆海华
文献传递
一种大行程运动台位移测量方法
一种大行程运动台位移测量方法，该方法包括光路分配装置，位置敏感探测器阵列以及探测头阵列；所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布，保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测...
张鸣朱煜刘昊蒋毅刘召杨开明胡金春徐登峰穆海华尹文生
文献传递
催化剂及其制备方法和用途
本发明提供一种催化剂及其制备方法和用途。所述催化剂包括：催化剂载体，以及，活性组分，所述活性组分负载在所述催化剂载体的表面和/或内部；其中，以所述催化剂的总质量计，所述活性组分的含量为1～10％，所述催化剂载体的含量为9...
陈建军袁进李俊华刘昊
基于深度强化学习的人脸关键点检测方法及装置
本发明公开了一种基于深度强化学习的人脸关键点检测方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过马尔科夫决策过程对人脸关键点检测问题进行数学建模；通过形状推测网络得到一个初始形状，将其通过k近邻，获取该形状候选子集；通过形状决策...
鲁继文周杰刘昊郭明皓
文献传递
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