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金国芬
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江大学物理系物理学系
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发文基金:
浙江省自然科学基金
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
吴惠桢
浙江大学物理系物理学系
徐天宁
浙江大学物理系物理学系
梁军
中国科学院上海微系统与信息技术...
劳燕锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈笑松
浙江大学物理系物理学系
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立方相ZnMgO的电学特性研究
立方相ZnMgO合金薄膜是一种新型宽带隙材料,为研究立方相ZnMgO(C-ZnMgO)材料的电学性能,我们在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲...
金国芬
梁军
吴惠桢
劳燕锋
余萍
徐天宁
关键词:
立方相
宽带隙半导体材料
电学性能
MIS结构
文献传递
立方相ZnMgO的电学特性
2007年
在半导体硅衬底上沉积C-ZnMgO纳米薄膜,并做成金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.通过测试MIS结构的C-V曲线,计算得到C-ZnMgO材料的介电常数为10.5±0.5,并获得了介电常数的频率响应:在1~8MHz的频率范围内,介电常数由10.5降到6.4.通过测试MIS结构的I-V特性曲线,对漏电流产生原因进行了讨论与分析.
金国芬
吴惠桢
梁军
劳燕锋
余萍
徐天宁
关键词:
MIS结构
介电常数
氮掺杂氧化锌薄膜的光电特性
被引量:2
2008年
采用气体反应电子束蒸发法,氨气氛下在玻璃上沉积了氮掺杂氧化锌(ZnO)薄膜。AFM观察发现氨气氛下生长的氮掺杂氧化锌薄膜表面比未掺杂样品的粗糙度略高,且随氨气压的增加粗糙度也随之增加,这可能与氨气氛对ZnO生长表面的轻微腐蚀作用有关,但表面依然比较平整。XRD分析显示,(0002)衍射峰位没有发生移动,但是氮掺杂后衍射峰的线宽比未掺杂样品稍有增加,衍射峰的半峰全宽由非掺杂ZnO的0.261°增加到0.427°。氧化锌掺氮后电阻率提高了4-7个数量级,达到了降低ZnO中电子浓度的目的。
王双江
吴惠桢
金国芬
张莹莹
陈笑松
徐天宁
关键词:
原子力显微镜
X射线衍射
光致发光光谱
电阻率
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