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文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电源
  • 2篇电源功率
  • 2篇温度
  • 2篇温度范围
  • 2篇减反射膜
  • 2篇功率
  • 2篇AZO
  • 2篇残余气体
  • 1篇真空度
  • 1篇腔体

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇刁宏伟
  • 2篇王文静
  • 2篇周春兰
  • 2篇闫宝军
  • 2篇赵蕾
  • 2篇李海玲
  • 2篇陈静伟

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法,其工艺步骤如下:①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上;②抽真空,使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa;③开启加热电源,给基片加热,加热温度范围为15...
刁宏伟王文静赵蕾周春兰李海玲陈静伟闫宝军
一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法,其工艺步骤如下:①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上;②抽真空,使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa;③开启加热电源,给基片加热,加热温度范围为15...
刁宏伟王文静赵蕾周春兰李海玲陈静伟闫宝军
文献传递
共1页<1>
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