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闫宝军

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：文化科学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 2篇电极
  • 2篇电源
  • 2篇电源功率
  • 2篇引线
  • 2篇油箱
  • 2篇真空设备
  • 2篇喷淋
  • 2篇气口
  • 2篇温度
  • 2篇温度测量
  • 2篇温度范围
  • 2篇进气
  • 2篇进气管
  • 2篇进气口
  • 2篇缓冲室
  • 2篇基片
  • 2篇加热器
  • 2篇减反射膜
  • 2篇功率
  • 2篇PECVD

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇刁宏伟
  • 6篇王文静
  • 6篇闫宝军
  • 6篇陈静伟
  • 4篇周春兰
  • 4篇赵雷
  • 4篇李海玲
  • 2篇赵蕾
  • 2篇王革

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法，其工艺步骤如下：①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上；②抽真空，使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa；③开启加热电源，给基片加热，加热温度范围为15...
刁宏伟王文静赵蕾周春兰李海玲陈静伟闫宝军
文献传递
一种PECVD喷淋电极
一种PECVD喷淋电极，所述的电极（5）外形为圆桶形，上部有开口，下部有底；电极（5）的内部空间被带有通孔的初级气体匀气板（2）分成上下两部分，下部空间为初级气体缓冲室（1），上部空间为二级气体缓冲室（3）。初级气体缓冲...
刁宏伟王文静赵雷周春兰李海玲陈静伟闫宝军
一种基片加热装置
一种基片加热装置，包括油箱体（12）及油箱密封盖。所述油箱体（12）为中空的圆桶形，且开口处设有外延边（11）；内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔（7）...
刁宏伟王文静赵雷陈静伟闫宝军王革
文献传递
一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法，其工艺步骤如下：①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上；②抽真空，使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa；③开启加热电源，给基片加热，加热温度范围为15...
刁宏伟王文静赵蕾周春兰李海玲陈静伟闫宝军
一种PECVD喷淋电极
一种PECVD喷淋电极，所述的电极（5）外形为圆桶形，上部有开口，下部有底；电极（5）的内部空间被带有通孔的初级气体匀气板（2）分成上下两部分，下部空间为初级气体缓冲室（1），上部空间为二级气体缓冲室（3）。初级气体缓冲...
刁宏伟王文静赵雷周春兰李海玲陈静伟闫宝军
文献传递
一种基片加热装置
一种基片加热装置，包括油箱体（12）及油箱密封盖。所述油箱体（12）为中空的圆桶形，且开口处设有外延边（11）；内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔（7）...
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