谢锋
- 作品数：12 被引量：37H指数：2
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术医药卫生机械工程更多>>
- 扫描电子显微镜被引量：30
- 2003年
- 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
- 刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚
- 关键词：扫描电子显微镜二次电子
- 一种手持式超声采集方法
- 本发明涉及一种手持式超声采集方法，方法包括：步骤1、设置待检测物体，获取待检测物体位置，根据所述待检测物体位置调整手持式超声探头的角度和位置；步骤2、根据所述待检测物体位置，基于手持式超声探头获取待检测物体图像，向待检测...
- 谢锋刘成成李博艺他得安
- SEM与TEM半导体分析的比较
- 2003年
- 本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。
- 胡刚陈一谢锋刘剑霜朱烨
- 关键词：SEMTEM半导体扫描电镜透射电镜显微技术
- 用透射电镜分析硅中的缺陷
- 在对半导体材料的结构缺陷进行观察时,透射电子显微镜有着其他观察仪器不可比拟的优越性,透射电子显微镜主要使用的像的技术有:质厚衬度像、衍射衬度像、位相衬度像,它们的适用范围各不相同.其中,高分辨电子显微像可以在实空间内直接...
- 谢锋
- 关键词：位错层错透射电镜
- 文献传递
- 一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法被引量：1
- 2005年
- 针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。
- 刘剑霜谢锋胡刚陈一盛克平
- 关键词：透射电子显微镜放大倍率校准
- 应用母胎免疫及胎儿遗传物质评估新生儿ABO溶血病
- 研究目的:ABO母儿血型不合是中国新生儿溶血病(HDN)的主要原因,目前尚缺乏有效无创的产前诊断方法.我们对孕妇外周血进行一系列检查,包括:血清学试验检测血型同种抗体、单核细胞单层试验(MMA)检测抗体活性、流式细胞仪检...
- 谢锋
- 关键词：ABO血型新生儿溶血病抗体效价流式细胞仪
- 文献传递
- 硅中缺陷的透射电镜观察被引量：2
- 2004年
- 随着集成电路制造工艺技术的不断进步,器件线宽不断减小,硅材料中缺陷的危害越来越不可忽视。通过TEM观察了硅中氧沉积、工艺诱生缺陷等并对之进行了分析。
- 谢锋刘剑霜陈一胡刚
- 关键词：集成电路透射电镜硅
- 美国新药注册制度及其与中国相关制度的比较研究
- 药品是一种特殊的商品,它与人民的健康密切相关.在新药的发展过程中,政府部门起到了门户的作用:即要让安全有效,质量可控的新药及时获得上市许可,以提高社会的健康保健水平;同时又要防止对人体有害的药品进入市场,危害公民的身体健...
- 谢锋
- 文献传递
- 用电子显微镜剖析存储器器件被引量：4
- 2004年
- 简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
- 刘剑霜谢锋陈一胡刚
- 关键词：电子显微镜存储器透射电镜栅氧化层集成电路
- 半导体制造中的电子显微分析
- 2003年
- 集成电路的特征尺寸越来越小,电子显微分析在微电子制造中成为不可缺少、不可替代的重要分析手段。本文根据扫描电子显微镜(SEM)及透射电子显微镜(TEM)在实际分析中的特长与局限,主要就仪器分辨率与结果的精确度的问题,讨论如何将两种分析技术有机地结合起来,扬长避短,取得最佳效果。
- 谢锋刘剑霜陈一胡刚
- 关键词：半导体制造电子显微分析扫描电子显微镜透射电子显微镜SEMTEM
