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刘剑霜

作品数：21 被引量：52H指数：3
供职机构：扬州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：江苏省科技厅基金更多>>
相关领域：文化科学电子电信机械工程自然科学总论更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 7篇文化科学
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇自然科学总论
  • 1篇理学

主题

  • 7篇教学
  • 5篇电镜
  • 4篇射电
  • 4篇透射电镜
  • 4篇教育
  • 3篇半导体
  • 3篇初中物理
  • 2篇电路
  • 2篇电子显微分析
  • 2篇扫描电镜
  • 2篇扫描电子显微...
  • 2篇透射电子显微...
  • 2篇微电子
  • 2篇物理教学
  • 2篇物理课
  • 2篇显微分析
  • 2篇理教
  • 2篇教学研究
  • 2篇课程
  • 2篇集成电路

机构

  • 11篇扬州大学
  • 9篇复旦大学
  • 1篇扬州华夏集成...

作者

  • 18篇刘剑霜
  • 7篇陈一
  • 6篇胡刚
  • 6篇谢锋
  • 5篇李伙全
  • 1篇吴晓京
  • 1篇张俊兵
  • 1篇曾祥华
  • 1篇王书昶
  • 1篇韩玖荣
  • 1篇朱烨
  • 1篇郭鹏飞
  • 1篇金豫浙
  • 1篇陈磊

传媒

  • 3篇半导体技术
  • 3篇中国科技经济...
  • 2篇集成电路应用
  • 2篇扬州大学学报...
  • 1篇计量技术
  • 1篇中学物理教学...
  • 1篇上海计量测试
  • 1篇实验技术与管...
  • 1篇科教文汇
  • 1篇物理教学探讨

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2019
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2005
  • 2篇2004
  • 4篇2003
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
纳米超薄高k材料的工艺研究与性能表征
随着集成电路技术的飞速发展，金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的特征尺寸遵循着“摩尔定律”不断缩小。根据“按比例缩小”原则，MOS器件中的栅介质层的纵向尺寸(即厚度)也应随之比例缩小。但是，当栅介质层厚度小...
刘剑霜
关键词：原子层淀积第一性原理计算X射线光电子谱
文献传递
TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究被引量：13
2012年
针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术(TCAD)进行虚拟实验教学的方法。该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充。介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路。
刘剑霜郭鹏飞李伙全
关键词：虚拟实验
将工程教育融入初中物理课堂的教学实践——以学生制作浮沉子和简易密度计为例
2019年
工程教育不仅对国家未来的创新能力和竞争力有决定性影响,而且是人类生存和发展的必要基础。文章以学生实践活动——制作浮沉子和简易密度计为例,试图把工程教育融入初中物理课堂教学中,努力激发和培养学生的工程意识和工程实践能力。
宋云云刘剑霜
关键词：工程教育初中物理课堂教学浮沉子
一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法
2010年
提出一种利用高分辨率透射电子显微镜(high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM)对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样的影响、测量设备放大倍率的校验、样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用.该方法对半导体工业中HRTEM的应用有一定的指导意义.
刘剑霜李伙全陈一
关键词：半导体芯片内标法
SEM与TEM半导体分析的比较
2003年
本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。
胡刚陈一谢锋刘剑霜朱烨
关键词：SEMTEM半导体扫描电镜透射电镜显微技术
扫描电子显微镜被引量：30
2003年
随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚
关键词：扫描电子显微镜二次电子
一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法被引量：1
2005年
针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。
刘剑霜谢锋胡刚陈一盛克平
关键词：透射电子显微镜放大倍率校准
库仑势与洛伦兹势之间的规范变换
2011年
运用规范变换将电磁场中的库仑势和洛伦兹势进行相互转换,从而说明库仑势和洛伦兹势之间的相互联系.
李伙全韩玖荣刘剑霜
关键词：库仑势
以运河工程为情境的中学物理教学案例构建策略研究
2024年
探索物理与工程整合的方法和路径,是落实新课标中综合化实施要求的必由之路。而运河工程作为地方工程的代表,能够作为齿轮较好的啮合传统科学与学生物理课程,将物理知识“润物无声”的渗透与融合进学习者生活。由此,本文以地方运河工程为情境,挖掘和整合以运河工程为核心的相关情境素材,进行相关教学情境创设,对于课堂内容与课后实践部分构建步骤案例,旨在为中学物理教学研究与实践提供新的思路和视角。
潘龙元刘剑霜
关键词：情境教学教学研究
微电子工艺实践课程网络教学平台的开发被引量：1
2012年
本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教学、网络自主学习等功能模块。网络教学平台能帮助学生全面地掌握微电子工艺实践教学内容,有效地实现了教师的主导作用与学生主体作用的最佳组合,提高了课程的教学质量与效益。将网络教学平台用于开展研究型教学,有助于创新人才的培养。
李伙全陈磊刘剑霜
关键词：微电子工艺实践教学网络教学平台
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