程冠晓
- 作品数：7 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
- 发文基金：江苏省高技术研究计划项目中国科学院知识创新工程重要方向项目深圳市基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- X射线相衬成像光子筛被引量：4
- 2011年
- 基于Zernike相衬成像原理和光瞳切趾原理,提出一种将相位板和切趾光子筛集成为一个相衬显微物镜的X射线相衬成像光子筛的设计方法.这种X射线相衬成像物镜可以实现生物体组织或者其他弱吸收材料的高分辨率和高衬度成像.通过优化光子筛透镜的衍射结构,可以抑制成像系统的点扩展函数的旁瓣和消除高阶衍射焦点,从而提高成像分辨率;另外,将光子筛透镜和变相板合为一体,克服了成像透镜和变相板难以对准的缺陷.以高斯切趾光子筛为例,实验验证了设计方法的可行性.
- 程冠晓胡超
- 关键词：相衬成像
- 低数值孔径振幅光子筛的设计和制作
- 在软X射线、极紫外线光谱区,由于所有的固体材料的强烈吸收性,传统的折射透镜不能使用。菲涅尔波带片（FZP）可以用于软X射线、极紫外线的聚焦和成像。用光子筛（PS）代替FZP对软X 射线聚焦和成像,能够降低对光刻技术制作工...
- 程冠晓邢廷文林妩媚周金梅邱传凯廖志杰马建玲
- 关键词：衍射光学光刻
- 文献传递
- 光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法
- 一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线...
- 程冠晓胡超
- 文献传递
- 微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作
- 在软X射线波段,各种材料的折射率均接近或小于1,常规的折射光学元件将无法使用,但是可以用光子筛等新型衍射光学元件实现软X射线波段的聚焦、成像和色散.光子筛具有体积小、重量轻、易复制和特殊的光学性能等优点,可以构成微型光机...
- 程冠晓邢廷文林妩媚周金梅邱传凯廖志杰马建玲
- 关键词：衍射光学光刻
- 文献传递
- 微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作被引量：7
- 2006年
- 在软X射线波段,各种材料的折射率均接近或小于1,常规的折射光学元件将无法使用,但是可以用光子筛等新型衍射光学元件实现软X射线波段的聚焦、成像和色散.光子筛具有体积小、重量轻、易复制和特殊的光学性能等优点,可以构成微型光机电集成系统(MOEMS),有效提高器件效能,降低成本,在军事、工业和民用等方面,应用市场潜力很大.综述了光子筛的国内外研究进展,介绍了光子筛的成像原理,根据标量衍射理论探讨了低数值孔径振幅光子筛的基本设计方法和制作工艺,给出了光子筛的计算机仿真结果,并且用激光直写方法在镀铬石英基片上刻蚀了特征尺寸为5μm的微米孔阵列光子筛,实验测试了光子筛的成像性能.
- 程冠晓邢廷文林妩媚周金梅邱传凯廖志杰马建玲
- 关键词：衍射光学光刻
- 微纳结构光子筛衍射成像技术
- 在极紫外波段、软X射线波段这些极短波谱区，传统的光学材料存在强烈的吸收性，严重地限制了常规的折射或反射光学系统的应用。幸好，波带片可以用于极短波段的成像。但是，波带片的分辨率决定于其最小环带宽度，而波带片最外环的宽度受限...
- 程冠晓
- 关键词：衍射光学元件光刻技术
- 光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法
- 一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线...
- 程冠晓胡超
