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脉冲偏压对分离靶多弧离子镀TiAlN薄膜结构和硬度的影响: 本文利用分离的钛、铝靶多弧离子镀的方法,在M2高速钢表面沉积了TiAlN复合薄膜,通过改变基体脉冲偏压的幅值,引起离子流量和离子能量的变化,实现TiAlN复合薄膜的相结构和Al/Ti元素成分的变化。XRD和EDS分析结果...; 魏永强巩春志林永清杨士勤田修波; 关键词：多弧离子镀 TIALN 脉冲偏压 M2高速钢; 文献传递

脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响被引量：6: 2008年; 采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I_(111)/I_(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能.; 林永清巩春志魏永强田修波杨士勤关秉羽于传跃; 关键词：无机非金属材料离子镀脉冲偏压氮化钛耐磨性

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林永清