李珺泓
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信核科学技术更多>>
- 便携式光离子化检测器研究
- 本文分析了PID(Photo Ionization Detector)原理并基于该原理设计了PID敏感单元以及气体检测器的整体。突破传统的光离子化检测器的制造方法，使得电离室的设计与加工大大简便，从而使检测器的体积和质量...
- 范秋生薛晨阳梁庭李珺泓孙瑞霞张文栋
- 关键词：光离子化检测器电离室气体检测器低功耗
- 文献传递
- 硅基PZT热释电薄膜三方-四方相变的拉曼散射研究被引量：1
- 2009年
- 采用溶胶-凝胶法在硅衬底上成功制备出厚度约200nm的PZT薄膜,并以差热实验为基础,分别采用600℃、650℃和700℃三种退火温度,并对不同温度下的薄膜进行拉曼测试,分析三方-四方相变趋势,研究结果表明,中频区域的A1（2TO）振动模作为四方的一个标志,随着退火温度的升高强度逐渐增强,三方向四方转变;高频范围的A1（3TO）T振动模随着退火温度的升高强度也在逐渐增强,三方晶胞在减少而四方晶胞在增多,即随着退火温度的升高,三方有向四方转变的趋势。
- 李珺泓薛晨阳梁庭丑修建谭秋林张琼
- 关键词：PZT拉曼散射相变
- 硅基PZT热释电薄膜湿法刻蚀技术研究
- 2009年
- 通过对不同组合比的PZT薄膜湿法刻蚀技术研究，成功地配制出两种不同的刻蚀液，主要以HF、NH4F、HCl、NH4ClEDTA、HNO3为原料，NH4F、NH4Cl和EDTA的引入，有效地实现了刻蚀速率的可控性，并对PZ0.15R0.85、PZ0.3T0.7、PZ0.5T0.5和P1.1Z0.3T0.3四种薄膜进行微图形化研究，分析了刻蚀液对各种成份的刻蚀机理，通过实验，得到了分别刻蚀四种薄膜的刻蚀液的最佳配比，并对四种薄膜的刻蚀速率进行了研究。
- 梁庭李珺泓杜文龙薛晨阳张文栋
- 关键词：PZT薄膜热释电湿法刻蚀
- 微型光离子化传感器
- 一种微型光离子化传感器，包括紫外光源、电离室和驱动电路，电离室为由接地电极板、收集电极板和偏置电极板相互平行组成的复合电极，各电极板之间以聚四氟乙烯板间隔，并在垂直于电极板方向贯通有若干个进气通道。紫外光源位于电离室接地...
- 薛晨阳刘俊张文栋熊继军梁庭范秋生孙瑞霞谭秋林李珺泓
- 文献传递
- PZT薄膜制备、结构与热释电特性测试
- PZT薄膜因其优良的介电、铁电、热释电等性能，广泛的应用于微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域，是作为铁电存储器，红外探测器和微型加速度计等控制部分的理想材料。由于PZT薄膜材料具有较强的结构各向异性，所以...
- 李珺泓
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备锆钛酸铅薄膜及其材料性能研究
- 采用溶胶-凝胶法，成功地在Pt(111)/Ti/Si3N4/SiO2/Si(100)衬底上制备出大面积的PZT薄膜，通过增加10％的Pb来解决Pb在高温退火中挥发的问题，并采取了600℃、650℃和700℃三种退火方式。...
- 李珺泓薛晨阳梁庭谭秋林范秋生张文栋
- 关键词：溶胶凝胶法材料性能PZT薄膜高温退火XRD
- 文献传递
