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张罗莎

作品数：85 被引量：8H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术文化科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 84篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 17篇密封
  • 15篇分压
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱
  • 12篇质谱计
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 10篇液滴
  • 10篇紫外光刻
  • 10篇金属
  • 10篇光刻
  • 10篇法兰
  • 9篇真空
  • 9篇质谱仪
  • 9篇散热
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率
  • 9篇极紫外
  • 7篇光源
  • 6篇真空密封

机构

  • 85篇中国科学院光...

作者

  • 85篇王魁波
  • 85篇张罗莎
  • 85篇吴晓斌
  • 85篇罗艳
  • 75篇陈进新
  • 67篇王宇
  • 26篇周翊
  • 18篇崔惠绒
  • 9篇张立佳
  • 1篇徐向宇
  • 1篇张鑫
  • 1篇王宇

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 4篇2019
  • 13篇2018
  • 13篇2017
  • 20篇2016
  • 9篇2015
  • 11篇2014
  • 11篇2013
共 85 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种真空密封性能测量装置及方法
本发明公开了一种真空密封性能测量装置及方法，该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
一种动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁，用于阻止第二腔室内的物质进入第一腔室，所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室；所述筒身上还开有多个喷口，该多个喷...
陈进新王魁波王宇吴晓斌谢婉露张罗莎罗艳
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一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法
本发明公开了一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
真空密封件分压漏率测量装置
本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置，该测量装置包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7)，超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通，测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接。第一抽...
王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
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一种电子系统的自散热结构
本发明公开了一种电子系统的自散热结构，包括电子系统、密封底板，其中，所述电子系统包括金属基板和电子元器件，所述金属基板上表面布线、焊接所述电子元器件，所述金属基板下表面加工出弯曲的冷却槽，所述冷却槽外侧加工单层或者双层密...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
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多元合金薄膜的制备装置及其制备方法
本发明涉及多元合金薄膜的制备装置及其制备方法，制备装置包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元，数据采集控制单...
吴晓斌罗艳王宇王魁波谢婉露张罗莎张立佳
一种电子学系统的真空密封散热装置
本实用新型公开了一种电子学系统的真空密封散热装置，用于电子学系统中电子学系统的真空密封散热，该装置包括上法兰(1)、电子学系统(4)、下法兰(8)，其中，上法兰(1)上开有第一密封槽(3)，下法兰(8)上开有双密封槽结构...
张罗莎王魁波吴晓斌陈进新罗艳谢婉露周翊王宇
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一种极紫外辐照损伤测试设备
本实用新型公开了一种极紫外辐照损伤测试设备，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将...
陈进新吴晓斌谢婉露张罗莎罗艳王魁波
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一种材料分压放气率测量装置
本实用新型公开了一种材料分压放气率测量装置，装置包括抽气泵组、超高真空室、两个测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，两个测试室分别通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分...
王魁波吴晓斌王宇陈进新罗艳谢婉露张罗莎
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一种聚合物辐照损伤测试装置
本实用新型公开了一种聚合物辐照损伤的测试装置，所述装置包括相互独立的光源室、光路室和样品室；所述光路室内设置有光路传输部件和光学检测部件；所述光路传输部件包括：光束衰减器、匀束器、快门、聚焦透镜、第一分束镜和第二分束镜；...
罗艳吴晓斌周翊陈进新王魁波谢婉露张罗莎
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