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陈进新

作品数：124 被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 116篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇机械工程
  • 5篇理学
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学

主题

  • 21篇极紫外
  • 19篇密封
  • 19篇分压
  • 17篇激光
  • 15篇法兰
  • 14篇光刻
  • 13篇紫外光刻
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱计
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 12篇污染
  • 12篇激光器
  • 11篇真空
  • 10篇放电
  • 9篇液滴
  • 9篇真空计
  • 9篇质谱
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率

机构

  • 124篇中国科学院光...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 124篇陈进新
  • 103篇王宇
  • 96篇吴晓斌
  • 88篇王魁波
  • 75篇张罗莎
  • 75篇罗艳
  • 41篇周翊
  • 37篇崔惠绒
  • 15篇赵江山
  • 13篇丁金滨
  • 13篇刘斌
  • 10篇张立佳
  • 8篇王宇
  • 4篇李慧
  • 3篇齐威
  • 3篇沙鹏飞
  • 1篇徐向宇
  • 1篇徐向宇
  • 1篇张鑫

传媒

  • 4篇激光与光电子...
  • 1篇空间科学学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 22篇2017
  • 28篇2016
  • 17篇2015
  • 15篇2014
  • 19篇2013
  • 6篇2012
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 124 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
本发明公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元。本发明还提出了测试材料辐射致放气量的两种方法：动态法和质谱法，均可在线实时测试，其中使用动...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
文献传递
一种准分子激光器用贯流风机叶轮
一种准分子激光器用贯流风机叶轮，由若干节叶轮组成，叶轮的两端各连接一端法兰，每节叶轮之间均有一中盘，每两个中盘之间固定有周向布置的若干片风叶，每节叶轮中相邻的两片风叶之间呈一角度排列。本发明改善了叶轮中风叶的布局方式，可...
丁金滨刘斌陈进新王宇周翊赵江山
一种气体激光器放电腔的电极机构
本发明公开了一种电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极，该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极...
陈进新王宇
文献传递
一种真空密封性能测量装置及方法
本发明公开了一种真空密封性能测量装置及方法，该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
一种在线式气体分析装置及方法
本发明公开了一种在线式气体分析装置及方法，用于分析各种过程气体的成分和浓度，特别是在线测量和分析高压环境中气体成分和浓度，其中该装置包括高压气源、采样模块、安全阀、分流模块、第一阀门、限流器、第二阀门、分析模块、止回阀、...
王魁波刘斌丁金滨吴晓斌陈进新齐威沙鹏飞周翊王宇赵江山
文献传递
一种动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁，用于阻止第二腔室内的物质进入第一腔室，所述动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，所述宽口端连接所述第一腔室，所述窄口端连接所述第二腔室；所述筒身上还开有多个喷口，该多个喷...
陈进新王魁波王宇吴晓斌谢婉露张罗莎罗艳
文献传递
一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法
本发明公开了一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究被引量：2
2016年
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条件下的动态气体锁抑制率进行了比较。研究结果表明,当抑制率为85%以上时,可以近似地使用等截面假设来计算动态气体锁抑制率,且应以清洁气体出口处截面面积作为动态气体锁平均截面面积;动态气体锁抑制率与动态气体锁结构以及清洁气体相关量值有关,当给定动态气体锁结构和扩散系数时,动态气体锁抑制率随着向硅片台腔室扩散的气体体积流量的增大而增大。该动态气体锁抑制率理论研究体系,能够为极紫外(EUV)光刻机动态气体锁的研制提供理论依据。
陈进新王宇谢婉露
关键词：X射线光学抑制率
真空密封件分压漏率测量装置
本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置，该测量装置包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7)，超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通，测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接。第一抽...
王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
文献传递
一种电子系统的自散热结构
本发明公开了一种电子系统的自散热结构，包括电子系统、密封底板，其中，所述电子系统包括金属基板和电子元器件，所述金属基板上表面布线、焊接所述电子元器件，所述金属基板下表面加工出弯曲的冷却槽，所述冷却槽外侧加工单层或者双层密...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
文献传递
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