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张玉清

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇亚半微米
  • 1篇掩模
  • 1篇移相掩模
  • 1篇微米
  • 1篇集成电路
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体集成
  • 1篇半导体集成电...

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张慕义
  • 1篇贾海强
  • 1篇张玉清
  • 1篇李岚

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
移相掩模应用技术
1999年
一种用于大栅宽器件的移相掩模应用技术是将移相器边缘线用作不透明掩模，以代替铬图形。利用此移相掩模技术，制作了特征线长为０．１５μｍ的微细栅条和大栅宽器件。
贾海强张玉清张慕义李岚
关键词：亚半微米半导体集成电路
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共1页<1>
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