颜胜美
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种新型弹性支撑结构的分立式微变形镜设计
- 变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变...
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- 压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器
- 本发明是一种压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器，其由宽波段光源、光谱分析仪器、回光导光光纤、第一导光光纤，光纤耦合器、第二导光光纤和传感光纤探头组成，在传感光纤探头上加工有对被测液体、气体温度进行检测的温度...
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- 文献传递
- SiO2的MERIE刻蚀工艺研究
- SiO2具有优良的光学特性及其稳定的化学特性，在PolyMUMPs工艺中被作为牺牲层，为了完成结构层的制作，需对SiO2层进行刻蚀，因此对SiO2的干法刻蚀工艺研究具有重要意义。实验中使用的SiO2薄膜采用射频磁控溅射法...
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- 新型分立倾斜式微变形镜研究被引量：5
- 2011年
- 基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘曲。基于弹性理论对该变形镜的电压位移关系以及谐振频率进行了数值计算,并利用有限元软件对其进行了仿真,同时采用光学轮廓仪对样品进行了测试。实验结果表明,所制作的变形镜阵列可实现平移和倾斜运动,在3.75 V电压下可达到0.76μm的行程,与理论分析和模拟仿真结果一致。与传统分立倾斜式变形镜相比,该新型分立倾斜式变形镜具有较低的驱动电压、较少的驱动器数量,适用于集成度高且与集成电路(IC)单片集成的变形镜设计。
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- 关键词：光学器件变形镜微机电系统驱动器
- 压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器
- 本发明是一种压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器，其由宽波段光源、光谱分析仪器、回光导光光纤、第一导光光纤，光纤耦合器、第二导光光纤和传感光纤探头组成，在传感光纤探头上加工有对被测液体、气体温度进行检测的温度...
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- 非正交二维MEMS倾斜镜的研制
- 传统二维倾斜镜的转轴是正交的，本文基于硅表面加工工艺设计并制作了转轴非正交的二维MEMS倾斜镜。倾斜镜的上电极由一梁非对称的固定在基底上，上下电极成插齿状分布，二者在垂直方向上有着2μm的行程间隙，且在其边缘处有35 μ...
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