庄须叶
- 作品数：36 被引量：109H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划四川省青年科技基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信石油与天然气工程机械工程更多>>
- 基于金属磁记忆效应的钻机起升滑轮无损检测被引量：1
- 2011年
- 钻机起升滑轮在受力和地球磁场的共同作用下,应力集中区域和缺陷表面会产生微弱的磁场泄漏现象,这种微弱的漏磁场具有定向和不可逆的特性,且不会因为外界受力的消除而消失。对滑轮表面漏磁场强度变化率进行检测,计算滑轮磁参数,并比较与其材料磁参数的关系,确认滑轮应力集中的程度。介绍了基于金属磁记忆效应的钻机起升滑轮无损检测技术及其应用。
- 邓勇刚田鹏吴传军庄须叶
- 关键词：应力集中无损检测金属磁记忆
- 一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法
- 本发明公开了一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法，基于硅表面加工工艺、电镀工艺、湿法腐蚀和化学抛光工艺，通过在硅基底上增加形成腔，并利用光刻胶或聚酰亚胺等作为牺牲层，利用电镀工艺制作变形镜的结构，采用化学抛光...
- 庄须叶邱传凯姚军汪为民王强张铁军罗吉张建飞熊伟
- 文献传递
- 消逝场与柔性平板波联合探测生物传感器
- 本发明涉及一种适用于临床检验、药物筛选、环境、食品检验等领域生物亲和性反应特性检测的消逝场与柔性平板波联合探测生物传感器，它是由光学传感部件和声波传感部件组合而成，在光学传感部件和声波传感部件之间有一可承载被检测物的样品...
- 吴一辉李锋郝鹏庄须叶刘永顺王淑荣
- 文献传递
- 一种远场光纤消逝场的传感方法
- 本发明公开了一种远场光纤消逝场的传感方法，该方法包括：用微纳粒子对被测物液体进行修饰，将微纳粒子悬浮分布在传感光纤敏感段周围，利用微纳粒子在消逝场激励下形成的微纳效应将近场的消逝场能量传递到远场，增强了光纤消逝场传感器的...
- 庄须叶罗吉姚军
- 文献传递
- SiO2的MERIE刻蚀工艺研究
- SiO2具有优良的光学特性及其稳定的化学特性，在PolyMUMPs工艺中被作为牺牲层，为了完成结构层的制作，需对SiO2层进行刻蚀，因此对SiO2的干法刻蚀工艺研究具有重要意义。实验中使用的SiO2薄膜采用射频磁控溅射法...
- 颜胜美姚军庄须叶倪祖高周崇喜
- 新型微纳结构的光纤消逝场传感光纤
- 本发明涉及一种新型微纳结构的光纤消逝场传感光纤，包括保留包层和包层替换的光纤消逝场传感光纤，通过在光纤包层上打微纳孔，控制微纳孔的尺寸特征、分布方式及孔底与纤芯界面的距离，并在微纳孔内填充被测物质进行折射率调制。包层替换...
- 庄须叶罗吉姚军
- 新结构D形光纤消逝场传感器被引量：19
- 2008年
- 为提高D形光纤消逝场传感器的灵敏度并改进制作工艺,对D形光纤的结构和制作方法进行了研究。通过加大D形光纤的研磨深度,增大了传感器的有效探测面积,并使消逝场能量可以直接与被测物质作用,避免了能量耦合的损耗,提高了传感器的灵敏度。提出了采用机械研磨制作D形光纤的新方法,降低了制作成本。改进结构后,D形光纤消逝场传感器的灵敏度比旧结构传感器的灵敏度提高了3个数量级,是具有相同光程长度的直接光探测方法的1.2倍。测量亚甲基蓝时的灵敏度达到0.0435,最低测量浓度在10-7mol/L数量级,传感器的响应速度快,适合实时检测。结果表明,改进结构的D形光纤传感器灵敏度高,可以实时地反映被测物的浓度变化。
- 庄须叶吴一辉王淑荣宣明
- 关键词：高灵敏度
- MEMS交叉梳齿光栅设计和优化
- 2011年
- 采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的光栅相对于未优化时具有更大的位移、更好的光学传感特性。基于PolyMUMPs工艺制作了梳齿驱动器驱动交叉梳齿光栅,并逐步分析了该光栅的加工步骤。结合有限元分析软件,对该MEMS光栅的机械特性进行了分析。分析结果表明,在85V下,该光栅驱动器的位移为2.7μm,而实际测量的位移为2.1μm。通过对该光栅驱动器结构进行优化,得到在同等电压下优化后的光栅驱动器位移较未优化时有显著提高,在85V时,优化后的MEMS光栅驱动器的位移为4.3μm。根据傅里叶光学理论计算得到,该光栅的传感灵敏度与驱动器位移成正比,经过计算得到优化后MEMS光栅的光学传感曲线更加陡峭,具有更好的传感特性。
- 张恒姚军庄须叶陶逢刚汪为民
- 一种新型弹性支撑结构的分立式微变形镜设计
- 变形镜是自适应光学系统中不可或缺的波前校正器,基于MEMS技术的微变形镜是目前一个非常有前途的发展方向,它具有驱动电压低、易于系统集成、成本低廉等优点。本文基于表面硅工艺设计了一种新型弹簧支撑静电吸引型12单元分立式微变...
- 汪为民庄须叶颜胜美陈科帆姚军
- 微纳结构的光纤消逝场传感光纤
- 本发明涉及一种新型微纳结构的光纤消逝场传感光纤，包括保留包层和包层替换的光纤消逝场传感光纤，通过在光纤包层上打微纳孔，控制微纳孔的尺寸特征、分布方式及孔底与纤芯界面的距离，并在微纳孔内填充被测物质进行折射率调制。包层替换...
- 庄须叶罗吉姚军
- 文献传递
