2025年2月13日
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赵静
作品数:
5
被引量:1
H指数:1
供职机构:
信息产业部
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相关领域:
电子电信
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合作作者
白锡巍
信息产业部
张绵
信息产业部
王云生
信息产业部
陈朝晖
中国科学院微电子研究所
张绵
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2000
1篇
1999
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0.1-0.3μm X射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用
2000年
对同步辐射X射线光刻及在GaAsPHEMT器件制作中的应用进行了研究,并制作出栅长0.15μm的AlGaAs/InGaAs/GaAsPHEMT晶体管。研究结果表明,X射线光刻在剥离图形及T型栅结构制作工艺中具有极好的光刻图形质量,在混合光刻工艺中,抑止GaAs合金点的形成是取得良好对准标记的关键。
叶甜春
谢常青
李兵
陈大鹏
陈朝晖
赵玲莉
胥兴才
刘训春
张绵
赵静
关键词:
X射线光刻
PHEMT
T型栅
GaAs电子开关抗γ剂量率研究
提出了一种新颖的电电流电路补偿技术,明显地提高了GaAs电子开关的抗γ剂量率的能力。结合其他的技术措施,最终获得的结果为:GaAs开关组件在1.1×10<,11>rad(Si)/s的γ剂量的辐照下、...
王云生
张绵
赵静
白锡巍
关键词:
砷化镓
电子开关
Γ剂量率
毫微秒脉冲相关器应用的GaAs单片超高速模拟开关IC
被引量:1
2000年
介绍一种GaAs单片超高速模拟开关IC的设计和制备。电路设计采用了独特的开关管导通时栅-源电压跟随和开关管关断时栅-源电压箝位的电路,使开关获得良好的线性和3ns的开启和关断超高速特性,满足了毫微秒脉冲相关信号的处理要求。
王云生
张绵
赵静
白锡巍
关键词:
砷化镓
模拟开关
相关器
飞行器
毫微秒脉冲相关器应用的GaAs单片超高速模拟开关IC
介绍一种GaAs单片超高速模拟开关IC的设计和制备。电路设计采用了独特的开关管导通时栅-源电压跟随和开关管关断时栅-源电压箝位的电路,使开关获得良好的线性和3ns的开启和关断超高速特性,满足了毫微秒脉冲相关信号的处理要求...
王云生
张绵
赵静
白锡巍
关键词:
砷化镓
模拟开关
集成电路
相关器
文献传递
低泄漏GaAs FET模拟开关的研究
GaAsFET模拟开关已经用于开关电容、开关电容滤波器、自校准、采样保持、信号切换、选通等电路中,频率从几十兆赫兹到几千兆赫.例如GaAs开关电容滤波器的开关频率已经高达500MHz和1GHz.但是,由于过去的模拟开关很...
赵静
白锡巍
关键词:
模拟开关
GAASFET
开关电容滤波器
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