胡维
- 作品数：11 被引量：2H指数：1
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- "勿怜悯我":《哈姆莱特》中鬼魂显灵与维吉尔的影响
- 胡维
- 关键词：哈姆莱特维吉尔鬼魂虔敬怜悯重负
- 三层多晶硅表面牺牲层工艺标准化及测试结构设计
- 随着MEMS设计以及加工工艺的发展，对工艺标准化以及在线提取材料特征提出了需求。本文即根据这一需求提出了一套标准化的、通用的用于MEMS器件加工的3层多晶硅表面加工工艺及其对应的测试结构，希望对于MEMS的发展做出贡献。...
- 胡维
- 关键词：MEMS器件多晶硅
- 氧化锡纳米敏感薄膜制备方法
- 本发明提供了一种氧化锡纳米敏感薄膜制备方法，属于气敏传感器的敏感材料制备领域。本发明采用磁控反应溅射方法使金属锡氧化，在硅片上生成锡的纳米量级氧化物薄膜，再进一步氧化、退火，即可制造出纳米晶粒氧化锡薄膜，该氧化锡纳米敏感...
- 刘晓娣张大成王玮于晓梅闫桂珍田大宇罗葵李婷李修函胡维王阳元
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- 微结构键合工艺检测方法及检测结构
- 本发明涉及一种微结构键合工艺结果的检测方法及用于该方法的检测结构。先设计包含微结构的硅结构版图；采用键合工艺方法制备微结构，硅结构和硅衬底或玻璃衬底通过键合面连接，硅结构至少有一端与键合面保有距离，并记录键合面积；用探针...
- 阮勇张大成郝一龙罗葵王玮李婷贺学锋胡维王阳元
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- 微结构键合工艺检测方法及检测结构
- 本发明涉及一种微结构键合工艺结果的检测方法及用于该方法的检测结构。先设计包含微结构的硅结构版图；采用键合工艺方法制备微结构，硅结构和硅衬底或玻璃衬底通过键合面连接，硅结构至少有一端与键合面保有距离，并记录键合面积；用探针...
- 阮勇张大成郝一龙罗葵王玮李婷贺学锋胡维王阳元
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- 一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法
- 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量。提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用...
- 胡维张大成贺学锋
- 关键词：MEMS弹性模量
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- 一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法被引量：1
- 2005年
- 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa.
- 胡维张大成贺学锋
- 关键词：MEMS弹性模量
- 一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法
- 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.本文提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论...
- 胡维张大成贺学锋
- 关键词：弹性模量残余应力
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- 一种微型麦克风膜片
- 本发明涉及一种微型麦克风膜片，其中膜片上加有压应力，且压应力在1～100MPa之间。本发明通过采用复合膜片，或者通过调整掺杂剂量、退火温度和退火时间等工艺参数，在膜片内引入适当的压应力，在不改变麦克风膜片大小的条件下，提...
- 贺学锋王从舜方竞张珏张大成胡维李婷阮勇
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- 微硅麦克风及其制备方法
- 本发明提供了一种微硅麦克风及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域，该微硅麦克风包括作为电容极板的单晶硅薄膜和多晶硅薄膜，多晶硅薄膜为可动极板，单晶硅薄膜上设有若干个释放孔，在多晶硅薄膜上形成加强筋结构，...
- 张大成胡维乔东海李婷王玮田大宇罗葵李静阮勇
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