马静
- 作品数：10 被引量：16H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法
- 本发明公开了一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法。该光波导芯片包括：衬底；二氧化硅下包层；二氧化硅芯区光波导，其包括输入直波导部分、两个圆弧型弯曲波导部分、阿基米德螺线型弯曲波导部分和输出直波导部分；二氧...
- 杨添舒刘雯时彦朋马静张端郑婉华王晓东杨富华
- 文献传递
- 半导体薄膜太阳能电池前后表面的陷光结构制备方法
- 一种半导体薄膜太阳能电池前后表面的陷光结构制备方法，包括以下步骤：步骤1：在玻璃衬底上通过溅射生长一层反射镜；步骤2：在反射镜上沉积一层第一金属纳米颗粒；步骤3：在第一金属纳米颗粒上生长第一背电极；步骤4：在第一背电极上...
- 时彦朋王晓东刘雯杨添舒马静杨富华
- 文献传递
- 纳米针尖结构、复合结构及其制备方法
- 一种纳米针尖结构、复合结构及其制备方法，所述纳米针尖结构，包括衬底，在所述衬底表面阵列形成多个纳米针尖；其中，每个纳米针尖的顶部直径为10～20nm；所述纳米针尖的高度为200～350nm；相邻纳米针尖的间距为62.5～...
- 王晓东马静刘雯马哲宋培帅赵永强杨富华
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- GaAs/Si直接键合用GaAs表面化学活化技术被引量：1
- 2014年
- 研究了GaAs/Si疏水性直接键合技术中GaAs表面化学活化关键工艺,对比分析了不同体积分数的HF和HCl溶液作为表面活性处理剂时对GaAs表面进行活化处理的结果。发现用HCl和H2O溶液处理GaAs晶片得到的表面均方根粗糙度要优于用HF处理得到的结果,并且将处理过的GaAs晶片与Si片进行直接键合,发现用HCl进行表面活化的GaAs晶片与Si片键合的成功率要高于用HF进行表面活化的GaAs和Si键合。在200,300和400℃条件下,采用HCl和H2O体积比为1∶10的溶液处理的GaAs晶片与Si片都成功键合,并且200℃条件下键合后的界面质量较好。
- 马静刘雯杨添舒时彦朋杨富华王晓东
- 关键词：直接键合清洗工艺原子力显微镜
- 纳米针尖结构、复合结构及其制备方法
- 一种纳米针尖结构、复合结构及其制备方法，所述纳米针尖结构，包括衬底，在所述衬底表面阵列形成多个纳米针尖；其中，每个纳米针尖的顶部直径为10～20nm；所述纳米针尖的高度为200～350nm；相邻纳米针尖的间距为62.5～...
- 王晓东马静刘雯马哲宋培帅赵永强杨富华
- 基于纳米锥团簇结构的太阳电池减反射膜及其制备方法
- 一种基于纳米锥团簇结构的太阳电池减反射膜及其制备方法，所述太阳电池减反射膜所述表面为纳米锥团簇结构，纳米锥在单位平方微米面积内的数量为5至7个，纳米锥的高度为800至1000nm；其厚度在200μm‑500μm之间；其制...
- 马静刘雯马哲宋培帅赵永强杨富华王晓东
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- 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法。该太阳能电池元件包括：光吸收部件；减反射膜系，形成于光吸收部件的上方，至少包括：具有六角形周期分布纳米孔的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>减...
- 杨添舒刘雯时彦朋马静王晓东杨富华
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- 将薄膜太阳电池器件粘附在其他衬底上的方法
- 一种将薄膜太阳电池器件粘附在其他衬底上的方法，该方法包括：步骤1：清洗薄膜太阳电池器件和外加转移衬底；步骤2：在外加转移衬底上蒸镀一层金属；步骤3：在薄膜太阳电池器件上蒸镀背电极；步骤4：采用热压键合的方法将外加转移衬底...
- 马静刘雯杨添舒时彦朋杨富华王晓东
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- 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法。该太阳能电池元件包括：光吸收部件；减反射膜系，形成于光吸收部件的上方，至少包括：具有六角形周期分布纳米孔的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>减...
- 杨添舒刘雯时彦朋马静王晓东杨富华
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- 量子定位导航技术研究与发展现状被引量：15
- 2018年
- 最近二十年,作为一种新型导航技术,量子定位系统(QPS)因其特有的信息传输优势得到了飞速发展。简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,阐述了量子定位导航系统的概念与基本原理、量子导航的优势、量子导航的分类及国内外发展状况,并就目前量子导航所面临的问题及其发展前景提出了相应的观点。
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- 关键词：量子光学卫星导航量子通信
