葛宇昊
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于EIT技术的气流传感器及其实验研究被引量：1
- 2012年
- 提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结构,其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极.首先,在金属电极对中注入电流,并根据相邻测试规则测量其他电极对间的电压;然后,改变电流注入位置并测量电压,得到208个电压值;最后,利用成像软件将电流和电压参量转换为电阻率分布图像.气流流动所导致的热场分布变化将引起薄膜电阻率的分布发生变化.气流传感实验结果表明,气流方向、速度的变化能够采用图像的方式清晰、直观地进行描述.研究结果为MEMS传感器设计提供了新的方案与技术.
- 蒋明霞李伟华张良葛宇昊
- 关键词：电阻抗断层成像
- 基于EIT技术的MEMS传感方法研究
- 微机电(MEMS)传感器是当代发展最为迅速的传感器之一,将MEMS传感器与信号处理电路集成制作在一个芯片内实现系统单片集成,能够大幅度提高整个系统的性能与可靠性。但是,相比较非常成熟的集成电路技术而言,MEMS器件的集成...
- 葛宇昊
- 关键词：MEMS传感器电阻抗断层成像半导体材料
