沈丽艳
- 作品数:2 被引量:8H指数:1
- 供职机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
- 发文基金:上海市教育委员会重点学科基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- 基于数字微镜器件的三维轮廓测量及其性能分析被引量:8
- 2011年
- 研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法。该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜器件及其控制器替代了传统共焦测量中的照明针孔和横向扫描机构,充分发挥DMD横向分辨率高,响应速度快,数字化以及便于计算机控制的优点,对传统共焦测量方法进行了结构上的改进,大大提高其扫描速度。一系列实验结果表明,数字微镜器件可以完全替代照明针孔,从而实现对样品表面快速,精确,大范围的三维测量。
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- 关键词:数字微镜器件
- 基于数字微镜器件的显微镜照明调制系统
- 本文提出了一种基于空间光调制器--数字微镜器件(DMD)的柔性显微镜照明调制系统.该系统将传统的照明结构(如科勒照明)与数字微镜器件相结合,可将入射光调制成为预设的空间图形,并作为显微镜的光源.显微镜光源的强度、形状、分...
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- 关键词:数字微镜器件
- 文献传递