侯文玫
- 作品数：61 被引量：101H指数：7
- 供职机构：上海理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 一种同面反射的光路互换装置
- 本发明公开了一种同面反射的光路互换装置，包括一五角棱镜、第一等腰直角棱镜和第二等腰直角棱镜，所述五角棱镜的两个互成直角的两个面分别为第一入射面、第一出射面，所述第一出射面与第一等腰直角棱镜的斜边面相互平行，所述第一入射面...
- 钟朝阳侯文玫杨卫句爱松罗佳林柯有龙
- 文献传递
- 无掩膜光刻图形的数据提取技术
- 2015年
- 由于掩膜的成本在整个光刻成本中所占的份额不断攀升,所以降低掩膜的成本,甚至发展到不需要昂贵的掩膜的无掩膜光刻技术已经成为了关键。掩膜的图形格式如DXF和GDSII无法直接用于无掩膜光刻机,需要对掩膜图形数据进行提取。了解DXF格式的掩膜图形特点,编写算法对掩膜图形信息进行提取和解析,并通过MATLAB仿真验证读入图形的正确性。
- 刘丹玥侯文玫许琦欣
- 关键词：MATLABDXF文件
- 一种基于闪耀光栅的高精度滚转角干涉测量装置
- 本发明涉及一种基于闪耀光栅的高精度滚转角干涉测量装置，包含双频激光源、随被测件一起运动的闪耀光栅楔形平板、光干涉装置及相位检测装置。双频激光器输出包含两个频率不同且线偏振方向互相正交的分量的入射光束到光干涉装置，入射光束...
- 乐燕芬侯文玫钟朝阳句爱松
- “Nanotechnology”课程全英语教学实践探讨
- 介绍了在光电类高年级本科生课程中尝试开设"nanotechnology"全英语教学课程的教学实践体会。用双语讲授纳米技术相关知识点,对于教师和学生都已经不是很容易的事情。在上海市教委首届全英语课程示范课程建设项目的资助下...
- 郑继红侯文玫
- 关键词：课程教学教学实践
- 文献传递
- 一种并行共焦检测系统及方法
- 本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字...
- 张运波杨召雷句爱松彭博方董洪波胡凯侯文玫
- 文献传递
- 微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法
- 本发明提出了一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法，其通过采用双频激光光源发出的光经Koster棱镜将其分为两束频率不同、振动方向不同的光，两束光通过四分之一波片、楔面棱镜、楔面反射镜后汇聚从Koster...
- 金涛韩梦莹侯文玫
- 文献传递
- 用于位移直线度测量的激光干涉系统
- 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射...
- 侯文玫乐燕芬句爱松
- 文献传递
- 外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解被引量：1
- 2016年
- 外差激光干涉仪由于测量精度高,环境适应能力强和实时动态高速测量等特点而广泛应用于机床误差的实时监测中。外差激光干涉仪中,使用平面镜作为转向装置时,接收器上的两束光有可能只是相交而不是重合,这给光路的调节增加了很大的难度。针对这一问题,提出一种辅助光路调节方法,先将光路切换到单频干涉仪,调好光路,再切换到外差干涉仪,利用单频干涉条纹的直观性能可看出外差干涉仪光路调节的好坏。理论分析和实验结果表明,提出的调节方案具有可行性,效果良好,同时通过从单频切换到双频能更深入地理解拍频。
- 杨卫侯文玫句爱松罗佳林柯有龙
- 关键词：干涉仪干涉条纹
- 用于测量微滚转角的激光干涉系统
- 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入...
- 侯文玫赵宪斌张运波
- 文献传递
- 基于瞳面干涉的自参考干涉仪的研制
- 为了用更简单的光学器件使对准标记产生的衍射光实现重叠干涉,同时能够降低对准系统的加工和装调难度,设计了基于瞳面干涉的自参考干涉仪系统.首先,对当前光刻机所使用的对准技术展开研究,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,提出了...
- 罗佳林许琦欣侯文玫金涛
- 关键词：光刻机套刻精度
