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张小玲

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇锑化铟
  • 1篇溅射
  • 1篇方块电阻
  • 1篇INSB

机构

  • 1篇沈阳工业大学

作者

  • 1篇李云鹏
  • 1篇张小玲
  • 1篇温作晓
  • 1篇孙承松

传媒

  • 1篇传感器世界

年份

  • 1篇1998
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射条件对InSb薄膜方块电阻的影响被引量：1
1998年
本文介绍了用射频溅射技术制备InSb薄膜的方法,探索了溅射电压,工作气压、衬底温度及基片电压等条件对膜的特性和结构的影响.着重讨论了溅射条件对膜方块电阻的影响,并初步得出其变化规律.
张小玲孙承松李云鹏温作晓
关键词：溅射方块电阻锑化铟
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