李云鹏
- 作品数：10 被引量：5H指数：1
- 供职机构：沈阳工业大学更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- ＳｎＯ<,2>－ＴｉＯ<,2>系氧化物的湿—气敏特性
- 李云鹏孙承松
- 关键词：氧化物气密性
- 超微粒子气敏膜的制备
- 1989年
- 文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。
- 孙承松李云鹏
- 关键词：微粒子气敏膜气体泄漏报警
- 溅射SiO_2薄膜的电气性能被引量：1
- 1997年
- 本文介绍了一种在金属弹性体和应变电阻之间制作SiO_2绝缘膜的方法,并对基底表面状况,溅射条件对SiO_2膜绝缘性能的影响做了实验研究 实验结果表明,在良好的基底表面,合适的基底温度和调谐偏压下可制备出性能良好的SiO_2膜.
- 孙承松李云鹏
- 关键词：溅射电气性能二氧化硅薄膜
- 溅射条件对InSb薄膜方块电阻的影响被引量：1
- 1998年
- 本文介绍了用射频溅射技术制备InSb薄膜的方法,探索了溅射电压,工作气压、衬底温度及基片电压等条件对膜的特性和结构的影响.着重讨论了溅射条件对膜方块电阻的影响,并初步得出其变化规律.
- 张小玲孙承松李云鹏温作晓
- 关键词：溅射方块电阻锑化铟
- Pt薄膜平面热线型NH_3敏元件被引量：2
- 1997年
- 本文介绍了铂薄膜平面热线型氨传感器.它是利用高频溅射在硅片上制作铂膜电阻,然后涂以气敏涂料,600℃下烧结90分钟而制成的NH_3敏元件.同时讨论了几种元素对元件灵敏度及选择性的影响,发现以SnO_2为基体材料加入少量的Au对氨气有较高的灵敏度,以WO_3为主体材料加少量钒酸盐的保护层,对元件的选择性有所改善.
- 王哲全宝富王剑刚孙良彦李云鹏孙承松周立军
- 关键词：传感器
- 微机半导体高频C—V测试仪的研究
- 1991年
- 文章介绍一种已研制出的小型微机半导体高频C—V测试仪,分析了测试系统和它的工作原理。简要地指出程序设计流程和所用公式。实验证明该仪器有使用方便、迅速、价格低廉等特点。
- 姜万钟李云鹏周立军
- 关键词：半导体器件测试装置微机
- 基于APIT的无线传感器网络定位算法的研究
- 无线传感器网络技术是一门集检测、通信、控制等多种技术于一身的融合技术,作为无线传感器网络技术核心之一的节点定位技术,其在瓦斯监测、森林火灾监测、室内定位、农业物联网等领域有着广泛的应用。节点定位技术是无线传感器网络环境监...
- 李云鹏
- 关键词：CC2530
- 文献传递
- Ni薄膜热敏电阻失效机理研究被引量：1
- 1996年
- 通过对Ni薄膜热敏电阻进行可靠性试验得出其失效模式,并对失效机理进行了分析。
- 谢军周立军李云鹏
- 关键词：可靠性热敏电阻
- 薄膜磁敏元件基片的选择与制备
- 1995年
- 本文论述了薄膜磁敏元件对基片的要求,依此要求选择硅和高密度铁氧体为基片,上面制备SiO_2作绝缘膜。重点论论了用射频溅射法制备SiO_2膜。文章就溅射条件和膜特性进行了实验,给出实验结果。
- 李云鹏孙承松周立军关杰曾永宁
- 关键词：基片溅射
- 薄膜型集成温——湿度传感器
- 1990年
- 文章推出一种温—湿度一体化的传感器,该传感器以硅片为基础材料,用扩散法制成P—N结做测温元件,测湿元件是用高频溅射法制成的复合氧化物湿敏薄膜,湿敏膜的加热清洗可用敏感膜下面的扩散电阻加热器进行。这种一体化的传感器使用方便、响应快,且容易做到一致性和互换性。该传感器制作中完成了薄膜工艺与硅平面工艺的兼容和金属氧化物材料与硅材料的兼容。文章讨论了有机敏感机理、给出主要制造工艺和特性。
- 李云鹏孙承松周立萍吕力川
- 关键词：薄膜型传感器温度
