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胡美凤

作品数：6 被引量：17H指数：2
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇机械工程
  • 4篇自动化与计算...

主题

  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 4篇压力传感器
  • 4篇力传感器
  • 3篇硅压力传感器
  • 3篇硅
  • 2篇扩散硅
  • 1篇心导管
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械结构
  • 1篇微型压力传感...
  • 1篇微压
  • 1篇微压传感器
  • 1篇力敏电阻
  • 1篇扩散
  • 1篇扩散硅压力传...
  • 1篇机械结构

机构

  • 6篇复旦大学

作者

  • 6篇吴宪平
  • 6篇胡美凤
  • 1篇龚凤英
  • 1篇张国权
  • 1篇晋琦
  • 1篇马青华
  • 1篇罗桂隆

传媒

  • 3篇传感技术学报
  • 1篇自动化仪表
  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 2篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1993
  • 2篇1992
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究被引量：1
1998年
本文指出采用矩形双岛结构可以实现硅压力传感器的非线性内补偿.用一维近似模型分析计算了矩形双岛结构硅压力传感器硅芯片的应力分布及其与(100)硅各向异性腐蚀深度的关系,指出对已确定了几何尺寸的掩模,可以找到某一最佳腐蚀深度,使这时两对力敏电阻所受横向应力大小与其非线性值成反比.这样总的非线性为零值.通过实验证实了这一结论.
吴宪平胡美凤
关键词：压力传感器硅非线性补偿
矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器
吴宪平胡美凤晋琦张国权罗桂隆龚凤英
“矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器”是我们在“七五”国家重点科技攻关过程中发明的国家专利。采用这种新型机械结构并解决了一系列工艺难点，包括双面套准光刻，硅的各向异性腐蚀，凸角图形在腐蚀中的削角补偿以及静电封接等等，在一...
关键词：
关键词：硅压力传感器
1kPa 微机械结构微压传感器的研究被引量：2
1998年
本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率，分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ，其过载保护能力已超过５００倍满程压力，共振频率为９ｋＨｚ。
吴宪平胡美凤罗桂隆龚凤英
关键词：微机械微压传感器力敏电阻
压阻式医用导管端微型压力传感器被引量：1
1993年
本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线,分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm×2.5mm×0.16mm;量程为40kPa;灵敏度约为100μV/V·kPa;静态精度约0.3％FS;固有频率高达350kHz.其制造工艺适用于批量生产.
吴宪平胡美凤沈嘉英马青华
关键词：压力传感器心导管压阻式
扩散硅压力传感器性能优化研究被引量：11
1992年
本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产.
吴宪平胡美凤
关键词：压力传感器硅扩散
新型扩散硅低压传感器被引量：2
1992年
介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温度系数补偿办法和传感器技术性能的测试结果。
吴宪平胡美凤
关键词：硅过压保护传感器
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