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罗桂隆

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇硅压力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇龚凤英
  • 1篇张国权
  • 1篇吴宪平
  • 1篇晋琦
  • 1篇罗桂隆
  • 1篇胡美凤

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器
吴宪平胡美凤晋琦张国权罗桂隆龚凤英
“矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器”是我们在“七五”国家重点科技攻关过程中发明的国家专利。采用这种新型机械结构并解决了一系列工艺难点，包括双面套准光刻，硅的各向异性腐蚀，凸角图形在腐蚀中的削角补偿以及静电封接等等，在一...
关键词：
关键词：硅压力传感器
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