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王亚敏
作品数:
1
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供职机构:
上海理工大学能源与动力工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
魏彦锋
中国科学院上海技术物理研究所
黄为民
上海理工大学能源与动力工程学院
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2007
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HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生
2007年
液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率。本文通过实验测量了同一HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹。数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响。
黄为民
王亚敏
魏彦锋
关键词:
液相外延
HGCDTE
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内波
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