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李洪波

作品数：25 被引量：42H指数：4
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金黑龙江省自然科学基金公益性行业科研专项更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 18篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 2篇学位论文
  • 2篇会议论文

领域

  • 14篇机械工程
  • 10篇金属学及工艺
  • 3篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 13篇原子力显微镜
  • 6篇线边缘粗糙度
  • 6篇AFM
  • 4篇计量学
  • 4篇仿真
  • 3篇扫描电子显微...
  • 3篇杆组
  • 3篇MATLAB
  • 3篇不确定度
  • 3篇测量不确定度
  • 3篇粗糙度
  • 2篇运动学
  • 2篇运动学仿真
  • 2篇散射仪
  • 2篇线宽
  • 2篇六杆机构
  • 2篇刻线
  • 2篇机器人
  • 2篇杆机构
  • 2篇半导体

机构

  • 19篇哈尔滨工业大...
  • 10篇北京理工大学
  • 4篇中国计量科学...
  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇中国航空工业...
  • 1篇中航工业北京...

作者

  • 25篇李洪波
  • 14篇赵学增
  • 7篇褚巍
  • 6篇肖增文
  • 4篇赵维谦
  • 4篇李宁
  • 3篇曲秀全
  • 3篇高思田
  • 2篇王凌
  • 2篇邓方
  • 2篇崔建军
  • 2篇张乐乐
  • 1篇储巍
  • 1篇陈晨
  • 1篇丁健
  • 1篇张德庆
  • 1篇周法权
  • 1篇辛斌
  • 1篇王大伟
  • 1篇袁杰

传媒

  • 3篇哈尔滨工业大...
  • 3篇计量学报
  • 2篇机械工程学报
  • 2篇计量技术
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇现代机械
  • 1篇南京理工大学...
  • 1篇机电工程技术
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇2008年全...
  • 1篇2009年全...

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 4篇2008
  • 2篇2007
  • 6篇2006
  • 2篇2005
  • 3篇2004
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于子波分析的线边缘粗糙度表征参数研究
2006年
分析了现有线边缘粗糙度(L ine Edge Roughness,LER)表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数表征.子波理论给LER的综合评定提供了恰当的工具.利用子波在空间和频率域内都具有的定位特性,可以在任意细节上分析信号特征,且构造的子波基准线不存在拟合误差,可以分析LER来源,改进刻线边缘加工工艺.给出了基于子波分析的几个LER评定参数,并分析了这些参数如何应用于工艺和元件电气性能的表征.
李洪波赵学增褚巍李宁
关键词：多分辨分析
基于计量学的线边缘粗糙度定义被引量：6
2007年
对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性。给出该定义和ITRS定义间的换算关系。结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度。
赵学增李洪波褚巍肖增文李宁
关键词：线边缘粗糙度
基于热电偶的精密环境温场测量的关键问题研究被引量：4
2010年
分析了热电偶温度测量不确定度、温场稳定度测量不确定度和温场均匀度测量不确定度,为精密环境的温场参数测量和控制提供理论保障.分析表明,热电偶测温不确定度与热电偶热电动势、参考端温度传感器的测量不确定度密切相关;温场均匀度测量不确定度与热电偶热电动势的测量不确定度密切相关;温场稳定度测量不确定度与热电偶热电动势和温差拟合函数的关系密切,在一次线性拟合的条件下取决于拟合函数的斜率.针对测量过程中存在的脉冲噪声和热电偶非线性的干扰,结合精密环境温度信号变化缓慢的特点,提出综合运用均值滤波和中值滤波处理热电偶热电动势测量数据去除测量中脉动噪声和热电偶非线性对测量结果的影响.
李洪波赵维谦高思田崔建军丁健
关键词：热电偶测量不确定度非线性滤波
不同装药参数状态下水下爆炸冲击波的传播规律的研究
李洪波
关键词：反鱼雷鱼雷水下爆炸冲击波数值模拟
基于AFM单晶硅台阶线边缘粗糙度、顶表面和底表面粗糙度的测量被引量：1
2007年
采用原子力显微镜以TOP-DOWN方式测量单晶硅刻线单侧形貌。提出以单次扫描线上5个最低测量值的平均值为高度参考点且各条扫描线参考高度在统计意义下相等,校正(原子力显微镜)AFM压电驱动器高度方向非线性。通过NIST高度算法和直方图方法相结合确定样本边缘表面、顶表面和底部表面范围。顶表面和底表面各扫描线的功率谱密度(PSD)、均方根值(RMS)基本一致。对于边缘粗糙度而言,RMS随测量高度增加而减小;PSD随高度增加主导频率范围略有降低但变化不明显。
李洪波赵学增
关键词：原子力显微镜压电驱动器
刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量被引量：2
2009年
给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数。结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度。
李洪波赵学增褚巍
微米、纳米尺度测量环境的温度测量和控制技术
真空法和空调法是精密测量环境温度高稳定度和均匀度的主要构建方法。讨论了多热源温场控制的解耦问题,考虑到空气温度控制模型的复杂性和非精确性,依靠先验知识的不完全解耦方法仍将在工程应用中居于主流地位。高精度温度测量一般依赖于...
李洪波高思田崔建军丁健
关键词：温度测量温度控制
文献传递
一种Nb<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>改性的PZT基压电复合陶瓷及其制备方法
本发明涉及一种五氧化二铌Nb<Sub>2</Sub>O<Sub>5</Sub>改性的PZT基压电复合陶瓷及其制备方法，属于无机非金属材料技术领域。组成式：xPZT/yZnO<Sub>w</Sub>/zNb<Sub>2</...
曹茂盛王大伟袁杰李洪波张德庆
文献传递
服务机器人的多传感器融合定位与建图方法及系统
本发明提供了一种服务机器人的多传感器融合定位与建图方法及系统，属于服务机器人技术领域；本方法利用了深度学习的方法提取并融合多模态语义信息，避免了传统几何信息在非结构化场景、纹理不丰富的场景中的退化问题，并且有助于减小动态...
邓方樊铮张乐乐董伟石翔赵佳晨陈晨吕茂斌支涛李洪波
7R六杆Ⅲ级机构的MATLAB动力学仿真被引量：7
2006年
用复数推导了曲柄、6RⅢ级杆组的动力学数学模型,并将其转化为适用于MATLAB仿真的矩阵数学模型,以该矩阵数学模型编制了相应的M函数仿真模块,对给定的7 R六杆Ⅲ级机构为例说明如何使用这二个仿真模块建立MATLAB仿真模型,并对其仿真结果的正确性加以分析.其主要目的是以组成机构的杆组为仿真模块,搭建各种平面连杆机构MATLAB仿真模型,可以对各种低副机构进行动力学仿真和分析.
曲秀全李洪波孟庆鑫
关键词：动力学仿真杆组
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