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方竞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇应力
  • 1篇应力分析
  • 1篇应力计
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅片
  • 1篇薄膜应力

机构

  • 1篇北京光电技术...

作者

  • 1篇史红民
  • 1篇方竞
  • 1篇王昊

年份

  • 1篇1900
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
集成电路硅片薄膜应力分布测试仪
史红民王昊方竞江一
系用于各种集成电路的应力分布测试，可改进集成电路的制造工艺，提高集成电路的成品率及寿命，仪器应用了错位相移技术，实现对集成电路薄膜应力的全场定量测量，测试速度快、精度高、自动化程度高等特点。
关键词：
关键词：硅片集成电路应力计应力分析
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共1页<1>
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