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王昊
作品数:
15
被引量:27
H指数:2
供职机构:
北京光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
机械工程
理学
金属学及工艺
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合作作者
史红民
北京光电技术研究所
陆耀东
北京光电技术研究所
倪受庸
北京光电技术研究所
付雷
北京光电技术研究所
齐学
北京光电技术研究所
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王昊
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史红民
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1篇
2007
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2005
1篇
2001
2篇
2000
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1999
1篇
1998
1篇
1997
1篇
1900
共
15
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剪切干涉技术新进展
光路干涉中,剪切干涉已在很多领域有着广泛的应用。该方法有其独特的优越性,也存在局限性。这导致剪切干涉法只能在特定的条件下测量某些特定量。该文主要讨论干涉法的这些优缺点,并总结一些新进展,如剪切干涉中的相移技术,二维剪切干...
史红民
倪受庸
付雷
王昊
陆耀东
关键词:
自动测量
剪切干涉
相移
载波
积分球技术在高能激光能量测量中的应用
被引量:15
2000年
介绍了一种采用积分球技术对高能激光能量测试的有效方法 ,给出了其工作原理、设计要求和误差分析。
陆耀东
史红民
齐学
王昊
高和平
关键词:
激光能量
剪切干涉技术新进展
在共光路干涉中,剪切干涉已在很多领域有着广泛的应用。该方法有其独特的优越性,也存在局限性。这导致剪切干涉法只能在特定的条件下测量某些特定量。该文主要讨论干涉法的这些优缺点,并总结一些新进展,如剪切干涉中的相移技术,二维剪...
史红民
倪受庸
付雷
王昊
陆耀东
关键词:
自动测量
剪切干涉
相移
载波
文献传递
网络资源链接
室内高尔夫球测量装置
本实用新型涉及一种室内高尔夫球测量装置,它是由垂直方向光发射组件和光探测组件、水平方向光发射组件和光探测组件、出球探测组件、信号处理器和输出接口组成,所述垂直方向和水平方向的光探测组件分别接收垂直方向、水平方向光发射组件...
陆耀东
史红民
王昊
齐学
高和平
文献传递
剪切干涉技术新进展
被引量:12
1999年
在共光路干涉中,剪切干涉法已在很多领域有着广泛的应用。该方法有其独特的优越性,也存在局限性。这导致剪切干涉法只能在特定的条件下测量某些特定量。本文主要讨论干涉法的这些优缺点,并总结一些新进展,如剪切干涉中的相移技术,二维剪切干涉技术和剪切干涉中的载波技术。所有这些进展都是为了扩展剪切干涉法的应用领域,提高该方法的精度,并实现自动测量。
史红民
倪受庸
付雷
王昊
陆耀东
关键词:
剪切干涉
相移
载波
干涉仪
漫射靶及应用该漫射靶的激光光束诊断系统及其诊断方法
本发明公开了一种漫射靶及应用该漫射靶的激光光束诊断系统及其诊断方法,漫射靶包括基底和设置在基底的表面或内部的漫射层;应用该漫射靶的激光光束诊断系统包括具有朗伯特性的漫射靶、CCD成像模块、数据采集和处理装置,其中,漫射靶...
陆耀东
王昊
史红民
文献传递
漫射靶及应用该漫射靶的激光光束诊断系统及其诊断方法
本发明公开了一种漫射靶及应用该漫射靶的激光光束诊断系统及其诊断方法,漫射靶包括基底和设置在基底的表面或内部的漫射层;应用该漫射靶的激光光束诊断系统包括具有朗伯特性的漫射靶、CCD成像模块、数据采集和处理装置,其中,漫射靶...
陆耀东
王昊
史红民
文献传递
一种远场激光能量/功率的测量系统及其测量方法
本发明公开了一种远场激光能量/功率的测量系统,包括具有朗伯特性的漫反射靶、CCD成像模块、数据采集和处理装置,漫反射靶上开设有一个或一个以上的小孔,在漫反射靶反射面的异侧,对应小孔的位置接设有能量/功率探头;其测量方法为...
陆耀东
王昊
史红民
文献传递
剪切干涉技术新进展
介绍了剪切干涉技术在近几年的新进展,这些进展包括:剪切干涉技术中的相移技术--错位相移技术,剪切干涉技术中的光栽波技术(photo-carrier)与频域处理技术,二维剪切干涉技术,序列图象信号技术及其在剪切干涉技术中的...
史红民
倪受庸
付雷
王昊
陆耀东
关键词:
干涉仪
集成电路硅片薄膜应力分布测试仪
史红民
王昊
方竞
江一
系用于各种集成电路的应力分布测试,可改进集成电路的制造工艺,提高集成电路的成品率及寿命,仪器应用了错位相移技术,实现对集成电路薄膜应力的全场定量测量,测试速度快、精度高、自动化程度高等特点。
关键词:
关键词:
硅片
集成电路
应力计
应力分析
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