刘仁强
- 作品数：62 被引量：70H指数：6
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程动力工程及工程热物理更多>>
- 晶圆预对准精确定位算法被引量：7
- 2007年
- 针对IC制造工艺中传统的晶圆预对准控制系统预对准精度不高和占用空间较大的不足,提出了一种采用高精度激光位移传感器和低成本的透射式激光传感器的新型晶圆预对准系统,并结合该系统的特点提出了相应的晶圆预对准精确对位算法,而且进行了晶圆预对准重复性精度检测和实验验证.该系统用两种传感器数据融合的方式来检测晶圆的边缘,用质点系重心法确定晶圆形心和缺口位置,最终实现了微米级的晶圆预对准.该系统提高了对准算法的精度,减小了预对准台占用的实际空间,降低了成本.实验结果验证了该系统的有效性.
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- 曲率光纤传感器传感原理和参数优化被引量：2
- 2011年
- 为了更好地了解曲率光纤传感器的工作原理,进一步优化传感器的性能,利用TracePro光学软件对弯曲光纤中传播的光线进行光线追迹,采用几何光学方法描述敏感区对光强的调制原理,推导出光功率损耗与光纤弯曲半径、敏感区几何参数间关系的数学模型,并通过实验验证了其有效性。研究结果表明,在曲率光纤传感器中,光线在弯曲光纤中的传播路径表现出凸向集中性,即在弯曲光纤凸侧的光强会增加,而在凹侧的光强会减弱,这导致了敏感区对光泄漏的改变,从而实现光强调制。
- 狄海廷付宜利刘仁强
- 关键词：光纤光学传感原理光线追迹几何光学
- 基于时间飞行法的轴线直线度误差测量
- 2011年
- 在轴类机械零件加工过程中,对于轴线直线度的适时准确快速测量能够提高加工成品率,减少材料浪费。介绍了基于时间飞行法的轴类零件轴线直线度误差测量系统能够快速获取轴线零件表面点云数据,然后采用最小二乘法方便地对点云进行拟合和理论轴线计算,从而快速得出直线度误差。经过实验验证,该方案有很好的精度和重复性。
- 代杰赵现朝刘仁强
- 关键词：直线度误差最小二乘法圆拟合
- 光纤曲率传感器机理与特性的研究
- 刘仁强
- 关键词：光纤传感器
- 一种宏微复合平台隔振系统及其控制方法
- 本发明涉及一种宏微复合平台隔振系统及其控制方法，该系统包括设置于微运动平台底部的运动状态检测模块、设置于宏运动平台的主动执行机构和位置传感器，其中，宏运动平台安装在被动隔振基座上，被动隔振基座上设置有被动隔振单元，被动隔...
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- 七自由度串并混联防死点机械臂
- 本发明提供了一种七自由度串并混联防死点机械臂，包括依次连接的基座、第一关节、第一连杆、第二关节、连接支架、第三关节、第二连杆、第四关节、第六连杆、第五关节、第六关节、第七连杆、第七关节和末端执行器连接法兰；第三关节和第四...
- 刘仁强孙竞陈先宝郑浩高峰孙乔
- 文献传递
- 一种七自由度串并混联的机械臂构型和机械臂
- 本发明提供了一种七自由度串并混联的机械臂构型，包括基座、第一关节、第二关节、第三关节、第四关节、第五关节、第六关节以及第七关节；所述第一关节轴线、第二关节轴线以及第三关节轴线在空间上交于一点O<Sub>1</Sub>；所...
- 刘仁强陈先宝孙竞孙乔高峰郑浩
- 文献传递
- 六杆全铰链双排驱动式双摆角铣头
- 一种机械工程技术领域的六杆全铰链双排驱动式双摆角铣头。本发明中，第一可控电机通过第一联轴器与第一圆柱齿轮固定连接，第二圆柱齿轮与铣头套上盖板固定连接，而铣头套上盖板和一对铣头套侧盖板均与铣头套固定连接，第二可控电机和第三...
- 高峰张勇张青赵现朝郭为忠刘仁强
- 文献传递
- 带力反馈的数字转向盘系统
- 一种带力反馈的数字转向盘系统，其包括转向盘、伺服电机减速器、伺服电机、伺服电机编码器、主控ECU、CAN总线、若干执行ECU、若干角位移传感器和伺服电机控制器。主控ECU根据伺服电机编码器记录的转角信号解析转向盘转角，通...
- 郭为忠陈伟高峰刘仁强
- 文献传递
- 双螺杆驱动式双摆角铣头
- 一种机械工程技术领域的双螺杆驱动式双摆角铣头。本发明中，第一可控电机通过第一联轴器与第一圆柱齿轮固定连接，第二圆柱齿轮与铣头套上盖板固定连接，而铣头套上盖板和一对铣头套侧盖板均与铣头套固定连接，第二、第三可控电机分别安装...
- 高峰张青张勇郭为忠赵现朝刘仁强
- 文献传递
