何兴理
- 作品数：11 被引量：30H指数：4
- 供职机构：福建工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究被引量：4
- 2013年
- 微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件。声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件。该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数。对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件。实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向。实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6MHz,与仿真结构接近。
- 何兴理周剑金浩董树荣王德苗
- 关键词：声表面波氧化锌硅
- 一种薄膜体声波谐振器的制备方法
- 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：准备硅衬底，清洗、烘干；在硅衬底上淀积一层低应力Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>薄膜，涂抹光刻胶，光刻窗口图形并刻蚀掉窗口中的Si<S...
- 丁扣宝刘世洁何兴理骆季奎
- 文献传递
- 密封空气型FBAR温度传感器被引量：5
- 2012年
- 薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器。通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR,研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性。实验结果表明,在20～100℃的温度范围内,密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化,且具有很好的稳定性与可靠性。
- 丁扣宝刘世洁何兴理
- 关键词：薄膜体声波谐振器压电换能器温度传感器
- 换能器间距对柔性声表面波器件性能的影响
- 2020年
- 首先基于PEI基板磁控溅射ZnO薄膜,再在薄膜上的两端制备叉指电极,探讨了不同的叉指间距对这种柔性器件的影响。研究发现,当两个叉指式换能器(IDT)之间的距离增加时,谐振器的传输幅度会显著衰减。为了制造具有良好传输性能的器件,IDT之间的间距应小于声波波长的40倍。这些结果可以为柔性声波器件的发展提供参考。
- 何兴理黄诗浩林金阳
- 关键词：叉指换能器声表面波氧化锌
- 基于声表面波的细胞粉碎器
- 本发明公开了一种基于声表面波的细胞粉碎器，包括声表面波发生模块，所述声表面发生模块包括压电衬底以及设置于压电衬底上的若干叉指换能器，在压电衬底上还设有与叉指换能器位于同一平面上且与叉指换能器布置方向配合的微流体破碎腔，所...
- 王文博何兴理周剑轩伟鹏陈金凯骆季奎
- 文献传递
- 基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件被引量：15
- 2014年
- 提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9nm,适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性。随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1%;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。
- 周剑何兴理金浩王德苗骆季奎
- 关键词：柔性衬底ZNO薄膜压电薄膜声表面波器件
- 喷墨打印垂直有机光晶体管及其性能优化
- 2019年
- 通过旋涂透明源极并在其上采用喷墨打印的方式制备有源层及源漏电极,从而得到一种垂直结构光晶体管,并获得了较好的光电性能,其响应率为~1500 A/W,探测率可达1.6×10^14 Jones.向有源层中掺杂一定比例的电子捕获材料PCBM,使有源层中光生空穴复合减小,光生电流增大,从而进一步提高其光探测性能.研究发现当掺杂5wt%电子捕获材料时,垂直结构光晶体管性能达到最优,响应率为~6000 A/W,探测率可达1.4×10^15 Jones.
- 张国成张国成何兴理何兴理
- 关键词：喷墨打印电子捕获光晶体管
- 柔性声表面波器件的波模式分析被引量：6
- 2016年
- 用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件。制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1。当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4MHz和158.5MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072m/s。模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模式。沉积了不同厚度的ZnO薄膜制备柔性SAW器件,进一步分析了薄膜厚度对SAW器件和模式1的影响。分析认为该高频模式不是传统硬质衬底上SAW器件产生的Sezawa波,而是S_0兰姆波,并且是有衬底情况下的S_0兰姆波。文中还采用Comsol仿真分析了新的高频模式1的粒子振动位移,结果和S_0兰姆波粒子振动位移一致,从而验证了其为广义兰姆波的正确性。
- 周剑吴学忠肖定邦何兴理金浩董树荣张伟策
- 关键词：声表面波器件柔性衬底压电薄膜
- 新型声波谐振器及其传感应用研究
- 得益于材料科学和先进微纳米加工工艺的进步，近年来柔性电子发展迅速。柔性电子不仅弥补了传统固体电子的不足，同时其也是电子学一个新兴的重要分支，有助于拓展整个电子学的应用范围。学术界陆续报导了许多柔性电子的应用，但目前为止，...
- 何兴理
- 关键词：薄膜体声波谐振器氧化锌
- 文献传递
- 基于声表面波的细胞粉碎器
- 本发明公开了一种基于声表面波的细胞粉碎器，包括声表面波发生模块，所述声表面发生模块包括压电衬底以及设置于压电衬底上的若干叉指换能器，在压电衬底上还设有与叉指换能器位于同一平面上且与叉指换能器布置方向配合的微流体破碎腔，所...
- 王文博何兴理周剑轩伟鹏陈金凯骆季奎
- 文献传递
