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谷德君

作品数：52 被引量：12H指数：2
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 47篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 35篇半导体
  • 31篇半导体行业
  • 30篇湿法
  • 30篇湿法处理
  • 23篇晶片
  • 12篇晶圆
  • 11篇承片台
  • 6篇电机
  • 6篇供液
  • 6篇硅片
  • 6篇摆臂
  • 5篇喷嘴
  • 5篇夹持
  • 4篇液膜
  • 4篇涂布
  • 4篇主轴
  • 4篇主轴电机
  • 4篇内槽
  • 4篇浸泡
  • 4篇半导体晶片

机构

  • 51篇沈阳芯源微电...
  • 1篇大连理工大学

作者

  • 52篇谷德君
  • 15篇卢继奎
  • 11篇王一
  • 8篇陈波
  • 6篇陈焱
  • 4篇汪涛
  • 3篇王永斌
  • 1篇宗润福
  • 1篇尹宁

传媒

  • 2篇机械工程师
  • 1篇半导体技术
  • 1篇装备制造技术

年份

  • 3篇2018
  • 9篇2017
  • 5篇2016
  • 9篇2015
  • 6篇2014
  • 3篇2013
  • 6篇2012
  • 5篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 52 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
晶圆浸泡装置
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种满足晶圆浸泡需求的晶圆浸泡装置，储液槽及电动执行器分别安装在底板上，片盒位于储液槽内，升降连杆的一端与电动执行器的输出端相连，另一端插入储液槽内、与片盒铰接；储液槽上部...
谷德君王一
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一种化学液供给系统
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给系统，包括由气动泵、过滤器、加热器、冷却器、节流阀及供液桶依次相连形成的主循环管路和连通于加热器与冷却器之间的分支管路，气动泵与过滤器之间的管路上、节流阀与供...
谷德君汪涛王一
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一种夹持晶圆的承片台装置
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种夹持晶圆的承片台装置，包括伸缩气缸、连杆、中空轴电机、承片台主体及活动档柱，承片台主体与中空轴电机的输出端相连，在承片台主体上放置有待夹持的晶圆，承片台主体上沿周向均匀...
谷德君汪涛王一
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一种化学液回收装置
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种带有可升降CUP的化学液回收装置，包括固定及旋转晶片的承片台、CUP、接液槽、气缸、电机及台面板，其中接液槽安装在台面板上，在接液槽内设有由电机驱动的承片台；所述接液槽...
谷德君卢继奎
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一种用于化学液喷洒的摆臂装置及其喷洒方法
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种用于化学液喷洒的及其喷洒方法，摆臂装置包括摆臂套筒、带键槽滚珠丝杠支座、升降驱动电机、旋转驱动电机、传动装置、摆臂固定架及化学液管路，升降驱动电机与旋转驱动电机分别安装...
谷德君王一
一种化学液供给装置
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给装置，包括供液桶、补液桶、电磁阀、药液阀、溢流阀及液位传感器，其中供液桶与补液桶之间连通的管路上设有药液阀，所述药液阀通过电磁阀与压缩空气源相连；所述供液桶及...
谷德君卢继奎张浩渊
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一种用于化学液喷洒的摆臂装置及其喷洒方法
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种用于化学液喷洒的及其喷洒方法，摆臂装置包括摆臂套筒、带键槽滚珠丝杠支座、升降驱动电机、旋转驱动电机、传动装置、摆臂固定架及化学液管路，升降驱动电机与旋转驱动电机分别安装...
谷德君王一
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一种化学液供给装置
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给装置，包括供液桶、补液桶、电磁阀、药液阀、溢流阀及液位传感器，其中供液桶与补液桶之间连通的管路上设有药液阀，所述药液阀通过电磁阀与压缩空气源相连；所述供液桶及...
谷德君卢继奎张浩渊
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一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种可兼容不同尺寸晶圆的伯努利承片台，该承片台分为相对可拆装的内层承片台及外层承片台，待加工的晶圆放置在内层承片台或外层承片台上，利用伯努利原理被夹持。本发明的承片台分为螺...
谷德君
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一种可对中的晶圆传递装置
本发明涉及一种可对中的晶圆传递装置，手臂本体的前部分为中间臂及位于中间臂两侧的分叉臂，中间臂及两侧的分叉臂上均设有多个柱状块，柔软型真空吸盘安装在中间臂上；中间臂的后端及两侧分叉臂的前端分别设有用于晶圆滑入对中的凸台，各...
孙元斌谷德君
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