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蒋大勇

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院激发态物理重点实验室更多>>
相关领域：核科学技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇深紫外
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇探测器
  • 1篇金薄膜
  • 1篇刻蚀
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇光电探测
  • 1篇光电探测器
  • 1篇合金
  • 1篇合金薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇MGZNO

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇张吉英
  • 1篇蒋大勇

传媒

  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
深紫外MgZnO光电探测器
利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了深紫外MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225...
蒋大勇张吉英单崇新吕有明申德振范希武
关键词：合金薄膜射频磁控溅射湿法刻蚀
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