白亦真
- 作品数：53 被引量：118H指数：5
- 供职机构：大连理工大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统被引量：2
- 1995年
- 建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究．
- 白亦真吕宪义金曾孙王春蕾邹广田
- 关键词：金刚石微波等离子体化学气相沉积
- AlMgB_(14)三元超硬硼化物的实验制备与理论研究被引量：5
- 2011年
- 三元硼化物AlMgB14材料具有高硬度,高韧性,低密度,低摩擦系数以及抗高温氧化腐蚀等众多优异性能,在工具、模具、微机械制造及航空航天关键零部件等领域具有重要的应用前景.本文采用多靶射频磁控共溅射技术,以高纯度Al（99.99%）,Mg（99.95%）,B（99.9%）材料为溅射靶源,在单晶Si（100）衬底上溅射沉积得到了表面均匀致密,不同化学组分的Al-Mg-B三元非晶态薄膜,通过调控溅射参数,可以实现原子比接近Al：Mg：B=1：1：14.对于所制备的薄膜样品,在三元相图上沿Al-Mg等含量线,Al-Mg-B材料的硬度,随着B元素含量增加由13GPa增大到32GPa,其中AlMgB14附近成分点的硬度达到25~32GPa.同时,采用第一性原理计算,得到AlMgB14晶体的维氏硬度为27.6GPa,与实验值接近.通过电子结构分析,我们进一步探讨了AlMgB14晶体和其他相似结构富B三元化合物硬度的起源,发现他们共同具有的B12二十面体骨架是决定硬度的主要因素.Al,Mg等金属元素主要通过向B12的电荷转移对材料硬度进行微调,Al-B之间形成了弱的共价键而Mg-B之间形成离子键,这点同时也为XPS实验谱图所证实.采用准简谐近似德拜模型,我们还研究了AlMgB14晶体的热学性质以及温度对体弹性模量的影响,发现体模量随温度增加明显的减小,同实验上提高衬底温度对硬度的增强呈现了相反的变化趋势.这从侧面说明了衬底温度提高导致的硬度增强并不是改变了材料的本征硬度,而可能由于加强了薄膜同衬底间附着力.
- 蒋雪曲文超赵纪军吴爱民白亦真姜辛
- 关键词：磁控溅射超硬材料力学性能热力学性能
- 镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法
- 本发明属于Ⅲ族氮化物薄膜和器件制造领域，提供了一种镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法。具体是以金属为衬底，先使用磁控溅射方法在金属衬底上制备金层，再使用电子回旋共振‑等离子体增强金属有机物化学气相沉积EC...
- 秦福文马春雨白亦真王德君林国强
- 基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响
- 2008年
- 采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随温度的变化情况。利用X射线衍射(XRD)仪,光致发光(PL)谱,电子探针(EPMA)和霍尔测量系统对样品进行了检测。SEM结果表明,基片温度为600℃时ZnO薄膜表面粗糙度最低。而PL谱表明基片温度为750℃时ZnO薄膜具有最优的光学性能,此时由EPMA测得的薄膜中Zn/O成分比接近ZnO的化学计量比。霍尔测量表明,样品均呈现出高阻状态,满足声表面波滤波器的制备条件。
- 孙剑白亦真谷建峰刘明张庆瑜
- 关键词：声表面波滤波器金刚石ZNO薄膜磁控溅射
- 磁控溅射Al-Mg-B薄膜成分优化被引量：5
- 2011年
- 采用多靶磁控共溅射技术,利用高纯度Al,Mg和B单质靶材为溅射源,室温下在单晶Si(100)表面上成功制备了低摩擦系数的非晶态Al-Mg-B硬质薄膜.通过改变Al/Mg混合靶体积配比及靶材溅射功率来调控薄膜成分,最终制备的Al-Mg-B薄膜成分接近AlMgB_(14)相的元素成分比,其Vickers硬度约为32 GPa.XRD及HR-TEM分析表明.制备的薄膜均为非晶态XPS测试表明薄膜内部存在B-B及Al-B单键;FTIR进一步测试表明,在波数1100 cm^(-1)处出现较为明显的振动吸收峰,证明制备的薄膜中含有B_(12)二十面体结构,这也是薄膜具有超硬性的主要原因.薄膜摩擦磨损测试表明薄膜摩擦系数在0.07左右.
- 曲文超吴爱民吴占玲白亦真姜辛
- 关键词：磁控溅射
- 快速沉积的金刚石薄膜生长特性
- 1991年
- 本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石
- 金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺
- 本发明属金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺、采用MnO<Sub>2</Sub>、Ni、Au三种浆料、顺序分三次丝网印刷在金刚石厚膜生长面上，每次印刷后都在400～550℃温度下预烧5～20分钟，最后在真空度10<Sup>-2...
- 王佳宇陈宏宇吕宪义白亦真金曾孙
- 文献传递
- 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究被引量：1
- 2006年
- ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.
- 孙剑杨天鹏白亦真徐艺滨王新胜杜国同
- 关键词：声表面波滤波器金刚石ZNO薄膜
- 镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法
- 本发明属于Ⅲ族氮化物薄膜和器件制造领域，提供了一种镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法。具体是以金属为衬底，先使用磁控溅射方法在金属衬底上制备金层，再使用电子回旋共振‑等离子体增强金属有机物化学气相沉积EC...
- 秦福文马春雨白亦真王德君林国强
- 文献传递
- 气压和偏流对高掺硼金刚石晶体性质的影响(英文)被引量：1
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积法,改变工作气压和偏流,在硅基片上沉积了高掺硼金刚石膜。利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱和X射线衍射仪对沉积的金刚石膜表面形貌和结构进行表征。结果显示:当气体压强从3kPa降低到1.5kPa时,金刚石膜有较平的表面形貌和和较好的晶形,薄膜的晶体性质得到良好的改善。但是继续降气体压强,从1.5kPa到0.5kPa时,却呈现出相反的趋势。固定气体压强(1.5kPa),改变偏流,结果表明:适当的偏流(3A)可以改善掺硼金刚石的质量,偏流较高会导致薄膜中非金刚石相增多。
- 贾福超白亦真屈芳孙剑赵纪军姜辛
- 关键词：气体压强偏流扫描电镜X射线衍射仪拉曼光谱
