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朱金龙
作品数:
32
被引量:3
H指数:1
供职机构:
华中科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
机械工程
电子电信
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合作作者
刘世元
华中科技大学
陈修国
华中科技大学
张传维
华中科技大学
董正琼
华中科技大学
于哲
华中科技大学
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自动化与计算...
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机械工程
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光调制
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光学
3篇
干涉图
机构
32篇
华中科技大学
5篇
湖北工业大学
作者
32篇
朱金龙
16篇
刘世元
11篇
张传维
11篇
陈修国
4篇
董正琼
3篇
于哲
2篇
谷洪刚
2篇
江浩
2篇
彭攀
2篇
石雅婷
1篇
钟磊
1篇
陈侃
1篇
周向东
年份
8篇
2024
8篇
2023
2篇
2022
4篇
2015
3篇
2014
4篇
2013
3篇
2012
共
32
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一种堆叠晶圆间隙的距离测量装置及测量方法
本发明属于晶圆检测领域,涉及一种堆叠晶圆间隙的距离测量装置及测量方法。该测量装置包括光源分光器,Y轴位移台,反射镜,Z轴位移台,棱镜;光源分光器用于连接参考光路和测量光路;其中,参考光路位于光源分光器的反射光路方向,测量...
朱金龙
赵翔宇
一种无掩膜制造微纳米结构的系统与方法
本发明公开了一种无掩膜制造微纳米结构的系统与方法,属于微纳制造技术领域,系统包括刻蚀加工光路、测量光路和主机;其中,刻蚀加工光路包括:激光器、准直器、偏振片、第一中继透镜、第一分束器、空间光调制器和物镜,测量光路用于对样...
朱金龙
彭攀
刘心沁
一种高速光学相位测量系统、测量方法及其应用
本发明属于相位测量相关技术领域,其公开了一种高速光学相位测量系统、测量方法及其应用,系统包括照明模块、显微模块、干涉模块、相机模块、高精度定位台以及控制与数据处理模块,照明模块包括准直光源;显微模块包括分束镜;干涉模块包...
朱金龙
李泽迪
纳米结构光学散射测量中的形貌重构方法研究
凭借快速、非破坏、低成本等特性,光学散射仪已经被广泛运用在集成电路制造工艺线上的纳米结构几何形貌关键尺寸(CD,Critical Dimension)测量中。光学散射测量本质上是一种基于模型的技术,该技术通过将理论光谱与...
朱金龙
关键词:
逆问题
支持向量机
一种改进的基于支持向量机的纳米结构特征尺寸提取方法
本发明公开了一种改进的基于支持向量机的半导体纳米结构特征尺寸提取方法,步骤为:确定每一个待提取参数的取值范围,生成子光谱数据库;利用训练光谱和支持向量机训练网络进行支持向量机训练;对每一个待提取参数利用训练光谱重复训练多...
刘世元
朱金龙
张传维
陈修国
文献传递
一种空间光调制器相位调制性能测试方法及系统
本发明公开了一种空间光调制器相位调制性能测试方法及系统,属于空间光调制器的测量领域,包括:S1、生成一幅灰度值在0‑255灰度区间内呈均匀梯度变化的灰度图像;S2、将所述灰度图像加载在待测空间光调制器上,并将待测空间光调...
朱金龙
徐仁
董正琼
周向东
聂磊
一种用于光学散射测量的基于拟合误差插值的库匹配方法
本发明公开了一种用于光学散射测量的基于拟合误差插值的库匹配方法,包括:确定样品待测结构参数的变化范围并对其执行离散化处理,将所获得的离散网格点及其对应理论光谱值储存到光谱库中;获得待测样品的测量光谱并计算出离散网格点对应...
刘世元
陈修国
张传维
朱金龙
文献传递
一种堆叠片曲面变形测量装置及方法
本发明属于表面三维形貌测量相关技术领域,并公开了一种堆叠片曲面变形测量装置及方法。该装置包括光源、分光器、反射镜、微反射镜和相机,其中,分光器设置在所述光源后方,反射镜和微反射镜均设置在所述分光器后方,待测堆叠片设置在所...
朱金龙
赵翔宇
一种基于双通道卷积神经网络的晶圆缺陷分类方法及系统
本发明属于缺陷分类检测领域,并具体公开了一种基于双通道卷积神经网络的晶圆缺陷分类方法及系统,其包括:分别获取各种晶圆缺陷类型对应的多组图像对,构建缺陷类型‑图像对数据集;其中,一组图像对包括缺陷晶圆的远场空间像二阶差分图...
刘世元
陈侃
刘佳敏
钟磊
朱金龙
谷洪刚
江浩
一种光谱共焦测量镜头及光谱共焦传感器
本发明属于光学测量相关技术领域,其公开了一种光谱共焦测量镜头及光谱共焦传感器,其中测量镜头包括从像方至物方依次排列设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组;所述第一透镜组的焦距为正,所述第二透镜组的焦距为正,所述第三透镜...
朱金龙
周向东
董正琼
聂磊
黄贤文
陈宇
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