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陈修国

作品数：142 被引量：27H指数：3
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项长江学者和创新团队发展计划更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 121篇专利
  • 11篇期刊文章
  • 8篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 21篇机械工程
  • 20篇自动化与计算...
  • 18篇理学
  • 11篇文化科学
  • 8篇一般工业技术
  • 5篇电子电信
  • 3篇医药卫生
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 36篇光学
  • 32篇椭偏仪
  • 27篇偏振
  • 19篇纳米
  • 16篇入射
  • 15篇偏振光
  • 14篇波片
  • 13篇光学常数
  • 12篇测量方法
  • 10篇套刻
  • 10篇起偏器
  • 10篇光学测量
  • 10篇傅里叶
  • 9篇圆偏振
  • 9篇圆偏振光
  • 9篇椭圆偏振
  • 9篇椭圆偏振光
  • 9篇矩阵
  • 9篇快照
  • 8篇散射

机构

  • 142篇华中科技大学
  • 3篇上海精测半导...
  • 2篇武汉颐光科技...
  • 1篇武汉科技大学

作者

  • 142篇陈修国
  • 133篇刘世元
  • 66篇张传维
  • 38篇谷洪刚
  • 33篇江浩
  • 20篇石雅婷
  • 14篇李伟奇
  • 13篇杜卫超
  • 11篇朱金龙
  • 8篇王鹏
  • 8篇钟志成
  • 7篇陈超
  • 6篇张劲松
  • 6篇胡静
  • 4篇尹文生
  • 4篇谭寅寅
  • 3篇汤自荣
  • 3篇陈文龙
  • 2篇陈锦
  • 2篇史铁林

传媒

  • 3篇物理学报
  • 2篇红外与毫米波...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇公路
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇情报杂志
  • 1篇计算机应用研...
  • 1篇金属加工（冷...
  • 1篇第十七届全国...

年份

  • 4篇2024
  • 9篇2023
  • 10篇2022
  • 14篇2021
  • 17篇2020
  • 14篇2019
  • 6篇2018
  • 6篇2017
  • 7篇2016
  • 14篇2015
  • 11篇2014
  • 14篇2013
  • 7篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 4篇2009
共 142 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种消散斑装置、激光投影成像系统及激光照明成像系统
本发明公开了一种消散斑装置、激光投影成像系统及激光照明成像系统。所述装置包括：沿激光光路依次设置的第一汇聚透镜、旋转散射片组件、第二汇聚透镜、反射式光纤耦合器、多模光纤和振动光纤组件；所述第一汇聚透镜用于将激光发出的平行...
陈修国宋黎宣刘世元陈超盛胜王才刘硕
文献传递
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置，可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下：将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面；采集样件表面反射信号，计算得到纳米级尺...
刘世元张传维史铁林陈修国
一种材料光学跃迁分析方法及系统
本发明属于材料测量表征研究领域，并具体公开了一种材料光学跃迁分析方法及系统，其首先确定待分析材料的介电函数谱，并计算介电函数谱关于激发光能量的二阶导数谱，对二阶导数谱进行临界点分析以获取材料的临界点分析结果图；然后绘制材...
谷洪刚宋宝坤刘世元方明胜陈修国江浩
文献传递
基于灵敏度与线性相关分析的光学散射测量条件优化配置
纳米结构的光学散射测量主要由两个关键技术支撑,即正向光学特性建模和几何参数逆向提取[1].其中,正向求解是指依据已知的光学入射条件和几何参数尺寸,采用电磁场建模理论获得仿真光谱数据的过程;反向几何参数求解则是指运用库匹配...
董正琼陈修国石雅婷张传维刘世元
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法，可以对IC制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿...
刘世元石雅婷陈修国张传维
文献传递
一种二维材料复光导率确定方法
本发明属于二维材料测量领域，并具体公开了一种二维材料复光导率确定方法，其首先根据电磁波在待测二维材料中的传播效应确定对应的计算方式；对于传播效应弱的二维材料，将其等效为无限薄片层，将二维材料椭偏参数用其复光导率进行表示，...
刘世元宋宝坤谷洪刚方明胜郭正峰陈修国江浩
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法，首先，将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动，将另外一个单波片与旋转装置相连，使两个单波片之间产生相对转动；然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上，并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种电磁散射建模中分离可变参数的快速算法
本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种电磁散射建模中分离可变参数的快速算法，其包括以下步骤：(1)根据电磁散射建模的对象来确定包含可变参数的算子及参数域；(2)将所述参数域离散为采样点数目递增的N重采样网格，其中N...
陈修国石雅婷刘世元陶泽谭寅寅
文献传递
一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置，可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下：将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到...
刘世元张传维陈修国
文献传递
一种超薄膜光学常数快速测量方法
本发明属于超薄膜光学性质测量表征研究领域，并具体公开了一种超薄膜光学常数快速测量方法，其包括如下步骤：S1利用照射至待测超薄膜光源的p光幅值反射系数r<Sub>p</Sub>和s光幅值反射系数r<Sub>s</Sub>表...
谷洪刚刘世元祝思敏宋宝坤江浩陈修国
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