董海峰
- 作品数：8 被引量：14H指数：3
- 供职机构：北京大学更多>>
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- 相关领域：机械工程更多>>
- MEMS隧道加速度计的系统分析与设计被引量：8
- 2003年
- 主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 ,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模 ,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型。以系统模型作为基础 ,分析了器件工作所必须的条件 ,对器件的结构参数和反馈控制电路的参数进行了设计 ,并给出了系统的静态与动态输出。另外 ,本文提出了参数敏感度因子的概念及其计算方法 ,利用这种方法可以对每一个参数计算其对应的敏感因子 。
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 关键词：MEMS微机电系统
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 高精度隧道式加速度计及其制备方法
- 本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作...
- 董海峰贾玉斌郝一龙
- 文献传递
- 基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试(英文)被引量：1
- 2004年
- 提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺 ,用来加工微型隧道加速度计 .采用HP4 14 5 B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试 ,验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系 .实验结果外推出的隧道势垒的范围为 1.182～ 2 .177e V.大部分器件的开启电压在 14～16 V之间 .在 - 1,0和 +1g三种状态下对开启电压分别进行了测试 ,得到加速度计的灵敏度约为 87m V/g.
- 董海峰郝一龙贾玉斌闫桂珍王颖李婷
- 关键词：隧道效应加速度计微机电系统
- 差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
- 本发明提供一种差分式隧道加速度计，具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，玻璃衬底通过锚点与支撑梁，固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
- 董海峰郝一龙贾玉斌沈三民张文栋
- 文献传递
- 隧道式硅微加速度计的设计和制作被引量：5
- 2003年
- 针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计。在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应。
- 贺玲薛大同雷军刚郝一龙董海峰
- 关键词：隧道效应硅微加速度计光刻
- 体硅隧道加速度计被引量：4
- 2004年
- 为了降低成本 ,拓展隧道加速度计的应用 ,作者设计了一种隧道加速度计 .对器件进行体硅工艺研究 ,结果为 :隧尖尺寸为 0 .0 2 μm× 0 .0 2 μm ,隧道电流为 1.14nA～ 4.68nA .
- 贾玉斌董海峰郝一龙
- 关键词：微机电系统加速度计体硅工艺
- 差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
- 本发明提供一种差分式隧道加速度计，具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，玻璃衬底通过锚点与支撑梁，固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
- 董海峰郝一龙贾玉斌沈三民张文栋
- 文献传递
