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沈三民

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电极
  • 2篇阳极键合
  • 2篇隧道
  • 2篇微型隧道
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇键合
  • 2篇玻璃衬底
  • 2篇差分式
  • 2篇衬底

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇贾玉斌
  • 2篇沈三民
  • 2篇董海峰
  • 2篇张文栋
  • 2篇郝一龙

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
本发明提供一种差分式隧道加速度计，具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，玻璃衬底通过锚点与支撑梁，固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
董海峰郝一龙贾玉斌沈三民张文栋
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差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法
本发明提供一种差分式隧道加速度计，具体公开该差分式隧道加速度计的结构及其制备方法。本发明的差分式抗高过载隧道加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上电信号连接引线，玻璃衬底通过锚点与支撑梁，固定梳齿电极和隧尖相连接。支撑梁与质...
董海峰郝一龙贾玉斌沈三民张文栋
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