您的位置： 专家智库 > >

盛文军

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 8篇刻蚀
  • 8篇硅片
  • 7篇光刻
  • 6篇纳米
  • 5篇单晶
  • 5篇单晶硅
  • 5篇单晶硅片
  • 5篇电池
  • 5篇阳极
  • 5篇太阳能
  • 5篇太阳能电池
  • 5篇纳米线
  • 5篇光阳极
  • 4篇银膜
  • 4篇微米
  • 4篇米线
  • 4篇光刻胶
  • 4篇复合结构
  • 4篇壁虎
  • 3篇硅

机构

  • 20篇华中科技大学

作者

  • 20篇盛文军
  • 19篇史铁林
  • 19篇廖广兰
  • 19篇孙博
  • 13篇谭先华
  • 10篇汤自荣
  • 10篇夏奇
  • 8篇张康
  • 8篇高阳
  • 7篇江婷

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 5篇2013
  • 4篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种仿壁虎脚结构材料制造工艺
本发明属于微纳仿生结构的制造工艺，具体涉及一种仿壁虎脚结构材料的制造工艺，①自组装聚苯乙烯小球，小球直径为100nm～1um；②等离子刻蚀聚苯乙烯小球；③镀保护层；④去除聚苯乙烯小球；⑤镀催化剂层；⑥湿法刻蚀；⑦旋涂光刻...
廖广兰谭先华史铁林孙博盛文军汤自荣夏奇高阳
文献传递
一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制备方法
本发明公开了一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制造方法，该方法包括：（1）在单晶硅片表面匀胶、光刻得到光刻胶掩膜；（2）基于光刻胶掩膜，使用感应耦合等离子体反应刻蚀技术ICP在单晶硅片上刻蚀出微米级别的凹槽及槽内均...
廖广兰史铁林盛文军孙博张康汤自荣夏奇高阳谭先华
文献传递
一种具有纳米异质复合结构的紫外光探测器及其制备方法
本发明公开了一种基于TiO<Sub>2</Sub>/ZnO纳米异质复合结构的紫外光探测器结构，其最底层为基底材料，其上为叉指电极，并覆盖一层ZnO薄膜，薄膜之上为ZnO纳米棒，纳米棒表面为TiO<Sub>2</Sub>纳...
廖广兰孙博史铁林盛文军江婷谭先华
文献传递
一种具有双面异质结结构的太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种具有双面异质结结构的太阳能电池，其中该双面异质结结构包括：基底（3），生长或刻蚀在该基底（3）上的微米管（2），其特征在于，所述微米管（2）的内管壁和外管壁表面均生长或刻蚀有纳米线（1）。本发明还公开了一...
廖广兰史铁林谭先华盛文军孙博江婷
文献传递
Si/ZnO微纳分级光阳极结构制备工艺研究
太阳能是一种洁净的、可再生的能源，通过制备基于微纳结构的光电化学太阳能电池，能够实现类似自然界中光合作用的光电化学过程，即利用太阳光分解水获得氢气，将太阳能存储于氢气之中，从而获得便于存储和运输的氢能源，这具有极大的应用...
盛文军
文献传递
一种磁场辅助的硅微纳加工工艺及装备
本发明公开了一种磁场辅助的硅微纳加工工艺，具体为：在单晶硅片上旋涂光刻胶，由光刻得到所需微纳尺度图案；在所得样品表面依次镀上金属膜A、B和A，金属膜A为金或银，金属膜B为铁；采用HF和H<Sub>2</Sub>O<Sub...
廖广兰史铁林孙博盛文军张康汤自荣夏奇
文献传递
一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺
本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺，包括：S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO<Sub>2</Sub>薄膜；S2、在有SiO<Sub>2</Sub>层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻，制备...
廖广兰盛文军孙博谭先华史铁林江婷
文献传递
一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制备方法
本发明公开了一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制造方法，该方法包括：（1）在单晶硅片表面匀胶、光刻得到光刻胶掩膜；（2）基于光刻胶掩膜，使用感应耦合等离子体反应刻蚀技术ICP在单晶硅片上刻蚀出微米级别的凹槽及槽内均...
廖广兰史铁林盛文军孙博张康汤自荣夏奇高阳谭先华
文献传递
用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品
本发明公开了一种用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品，该方法包括：(1)在单晶硅片上涂布光刻胶并通过光刻将掩膜上的微尺度图案进行转移；(2)通过镀膜工艺镀上银膜；(3)清洗以去除光刻胶；(4)采用氟化氢和H<Sub>2...
廖广兰盛文军史铁林孙博高阳
文献传递
一种仿壁虎脚结构材料制造工艺
本发明属于微纳仿生结构的制造工艺，具体涉及一种仿壁虎脚结构材料的制造工艺，1.自组装聚苯乙烯小球，小球直径为100nm～1um；2.等离子刻蚀聚苯乙烯小球；3.镀保护层；4.去除聚苯乙烯小球；5.镀催化剂层；6.湿法刻蚀...
廖广兰谭先华史铁林孙博盛文军汤自荣夏奇高阳
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0