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谭先华

作品数：79 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 77篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 7篇电子电信
  • 3篇电气工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇生物学
  • 1篇机械工程
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 21篇纳米
  • 20篇光刻
  • 16篇子层
  • 15篇电极
  • 15篇纳米线
  • 14篇光刻胶
  • 14篇超亲水
  • 12篇钙钛矿
  • 10篇电池
  • 10篇太阳能
  • 10篇太阳能电池
  • 10篇感器
  • 10篇传感
  • 10篇传感器
  • 8篇湿度传感器
  • 8篇石英晶体
  • 8篇石英晶体微天...
  • 8篇晶体
  • 8篇光电
  • 7篇探测器

机构

  • 79篇华中科技大学

作者

  • 79篇谭先华
  • 78篇史铁林
  • 76篇廖广兰
  • 41篇孙博
  • 31篇汤自荣
  • 24篇刘智勇
  • 13篇盛文军
  • 10篇高阳
  • 9篇刘星月
  • 7篇江婷
  • 6篇独莉
  • 6篇夏奇
  • 4篇叶海波
  • 4篇张康
  • 4篇陈鹏飞
  • 3篇李晓平
  • 3篇邵杰
  • 2篇何春华
  • 2篇卢宏
  • 2篇夏金松

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 9篇2020
  • 19篇2019
  • 6篇2018
  • 10篇2017
  • 9篇2016
  • 7篇2015
  • 5篇2014
  • 5篇2013
  • 4篇2012
共 79 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于激光诱导的超亲水PET表面的制备方法及产品
本发明属于固体材料表面改性的技术领域，并公开了一种基于激光诱导的超亲水PET表面的制备方法及产品。该方法包括下列步骤：(a)将待处理PET薄膜贴附在基底上，在PET薄膜上采用溅射的方式制备金属有色层；(b)采用激光聚焦到...
廖广兰林建斌谭先华史铁林汤自荣
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一种硅通孔刻蚀方法
一种硅通孔刻蚀方法，属于微机电系统微纳加工领域，解决采用现有Bosch工艺和金属掩膜进行深硅刻蚀存在基底侧壁产生波纹、光刻胶容易损坏和金属污染的问题。本发明包括：制备图形步骤、刻蚀步骤、加培片步骤、穿透步骤和去除光刻胶步...
廖广兰高阳史铁林谭先华李晓平卓锐
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一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品
本发明属于湿度传感器技术领域，并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品，所述方法包括，S1、种子层制备：在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层，用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料；S2、湿敏层制备：将沉...
廖广兰林建斌谭先华史铁林汤自荣
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一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺
本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺，包括：S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO<Sub>2</Sub>薄膜；S2、在有SiO<Sub>2</Sub>层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻，制备...
廖广兰盛文军孙博谭先华史铁林江婷
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一种硫化钼图像传感存储器及其制备方法
本发明属于光电子器件领域，并具体公开了一种硫化钼图像传感存储器及其制备方法。该方法包括如下步骤：在基底上制备连续硫化钼薄膜；然后制备传感器的金属电极对、存储器的第一金属电极层和金属对准标记，金属电极对的一端与第一金属电极...
廖广兰孙博王子奕史铁林谭先华
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一种空心微针阵列制造方法
本发明属于微纳结构制造工艺领域，并公开了一种空心微针阵列制造方法，包括以下步骤：1)镀金属种子层；2)旋涂负性光刻胶层；3)对负性光刻胶层进行前烘；4)曝光：在掩膜版的上方采用紫外光源对负性光刻胶层进行曝光，则光穿过掩膜...
廖广兰林建斌谭先华史铁林汤自荣
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一种硫化钼薄膜及其制备方法
本发明属于微纳制造相关技术领域，其公开了硫化钼薄膜及其制备方法，该方法包括以下步骤：(1)在基底上旋涂光刻胶并通过光刻来得到光刻胶图形；(2)采用镀膜工艺在该基底上沉积一层钼源薄膜，该钼源薄膜覆盖该光刻胶图形；(3)去除...
廖广兰王子奕孙博史铁林谭先华刘智勇刘星月叶海波
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一种超致密Cu(OH)<Sub>2</Sub>纳米线的制备方法及产品
本发明属于微纳制造技术领域，并公开了一种超致密Cu(OH)<Sub>2</Sub>纳米线的制备方法及产品。该方法包括，S1、ZnO种子层制备：在基底上沉积一层ZnO薄膜；S2、ZnO催化纳米棒的制备：在所述沉积有ZnO的...
廖广兰林建斌谭先华方涵史铁林汤自荣
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一种湿度传感器、制备方法及湿敏型开关触发器
本发明属于开关触发器领域，并公开了一种湿度传感器、制备方法及湿敏型开关触发器。湿度传感器包括基体和功能层，基体优选为石英晶体微天平，所述功能层为GO/Cu(OH)<Sub>2</Sub>复合层，该GO/Cu(OH)<Su...
廖广兰方涵林建斌谭先华史铁林
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一种基于超亲水结构的热电堆发电器件及其制备方法
本发明属于微纳结构的制造领域，公开了一种基于超亲水结构的热电堆发电器件及其制备方法，该发电器件包括绝缘基底及位于该绝缘基底上的若干发电单元，每个发电单元包括第一悬浮热电偶电极、第二悬浮热电偶电极和超亲水层，这两个悬浮热电...
史铁林林建斌谭先华廖广兰孔令贤何春华韩航迪罗京
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