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王志勤

作品数：2 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇微型机械
  • 1篇掩模
  • 1篇微齿轮
  • 1篇金属
  • 1篇工艺技术
  • 1篇X射线掩模
  • 1篇LIGA
  • 1篇齿轮

机构

  • 2篇中国科学院长...

作者

  • 2篇姚劲松
  • 2篇王志勤
  • 2篇宣明
  • 1篇梁静秋

传媒

  • 2篇光学精密工程

年份

  • 1篇1995
  • 1篇1993
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
LIGA工艺探讨
1993年
本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
王志勤姚劲松宣明王一凡
关键词：X射线掩模微型机械
准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用被引量：7
1995年
三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制了其发展速度。我们采用准ＬＩＧＡ工艺技术，以常规的紫外光刻方法，成功地制成了具有较高深宽比的微金属齿轮。
姚劲松王志勤王飞宣明梁静秋王一凡
关键词：微型机械微齿轮
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共1页<1>
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